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Fraunhofer IZM(德國)
Fraunhofer IZM
德國FraunhoferIZMwww.izm.fraunhofer.de弗勞恩霍夫協(xié)會可靠性和微集成研究所多設(shè)備集成部于1998年成立于德國薩克森地區(qū)的開姆尼斯市?;A(chǔ)領(lǐng)域是微(納米)機電系統(tǒng)(MEMS)的開發(fā)、在硅片和其他材料上制造微機電系統(tǒng)的技術(shù)和設(shè)備。未來,該部門還將研究應(yīng)用于未來微電子、納米電子、印刷電子系統(tǒng)的后段制程技術(shù),這一技術(shù)將普遍降低智能系統(tǒng)的應(yīng)用成本,檢驗智能系統(tǒng)的微觀可靠性和納
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