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Ionoptika(英國(guó))
Ionoptika
英國(guó)Ionoptikawww.ionoptika.com日本ULVAC-PHI公司于2004年11月12日宣布，與離子槍生產(chǎn)商英國(guó)Ionoptika公司聯(lián)合開(kāi)發(fā)出了以C60為離子源的濺鍍機(jī)離了槍，并已經(jīng)開(kāi)始銷售。其特點(diǎn)是能夠在不破壞成份和結(jié)構(gòu)的情況下以1nm(深度方向)的誤差，對(duì)有機(jī)薄膜樣本的表面進(jìn)行切削或?yàn)R射清除。該公司表示“可對(duì)有機(jī)薄膜進(jìn)行低損傷蝕刻，這在此前是做不到的&rdquo
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