Aurion(德國(guó))

Aurion Anlagentechnik

德國(guó)AurionAnlagentechnikGmbH www.aurion.deAurion公司生產(chǎn)、銷售使用等離子體處理技術(shù)和無(wú)線射頻元件進(jìn)行表面處理和表面涂層的設(shè)備。使用的等離子技術(shù)包括：●RIE(活性離子蝕刻）清潔和活化技術(shù)；微波下游的等離子技術(shù)●PVD(物理蒸汽沉積，擴(kuò)散)涂層技術(shù)；PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)蒸氣沉積)技術(shù)●大氣等離子活化技術(shù)除了成套的系統(tǒng)與元件外，Aurion公司還可以 在等離子與無(wú)線電頻率技術(shù)方面提供咨詢服務(wù)，并進(jìn)行人員培訓(xùn)。在提供標(biāo)準(zhǔn)表面處理系統(tǒng)的同時(shí)，Aurion還為有特殊要求的客戶提供定制服務(wù)，例如：根據(jù)客戶特殊需求提供整套解決方案。Aurion的等離子系統(tǒng)目前應(yīng)用于以下行業(yè)：●半導(dǎo)體●醫(yī)藥技術(shù)●光學(xué)●汽車行業(yè)Auriondeliverssystemsfortreatmentandcoatingofsurfacesbymeansofplasmaprocessesaswellasradiofrequencycomponents.Plasmatechnologiesemployedare:●CleaningandactivationwithRIE(ReactiveIonEtching)andMicrowavedownstreamplasma●CoatingwithPVD(PhysicalVapourDeposition,Sputtering)andPECVD(PlasmaEnhancedChemicalVapourDeposition)●ActivationwithatmosphericplasmaApartfromsystemsandcomponentsAurionoffersitsexpertiseintheareaof