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Raith
德國Raith www.raith.comRaith有限公司生產(chǎn)一系列供研發(fā)使用的電子束光刻系統(tǒng)。該系統(tǒng)能滿足大學及工業(yè)生產(chǎn)中的研究人員、設計人員和工程師的要求。該公司的電子束光刻產(chǎn)品既包括適用于SEM(掃描電子顯微鏡)或FIB(聚焦離子束)的電腦制圖附件,也包括對整個硅片和掩膜具有處理能力的完整系統(tǒng)。e_LiNE,這一分辨率極高的電子束光刻系統(tǒng)是一個可供大學和其他學術(shù)機構(gòu)使用的、已達到技術(shù)發(fā)展水 平的工具??晒┻x擇使用的納米操作臺、EBID和EBIE擴展了該系統(tǒng)的功能,使其適用于各種納米工程工作站。e_LiNE電子束光刻系統(tǒng)可供多數(shù)CNT研究、薄膜工程、光子晶體和EBID使用。Raith有限公司同時也生產(chǎn)用于故障分析的超高精密度樣本鏡臺和軟件導航組件。ESCOSYPlus是包括Defect-Review(缺陷復查)、CADnavigation(導航)、Bit-FailMapreview(點缺陷地圖復查)和Metrology(度量衡學)等特點在內(nèi)的所有分析工具的導航解決方案。ASEM(掃描電子顯微鏡專用)系統(tǒng)具有特殊功能,如逆向工程或高精度測量。它是Raith設計、制造先進的、具有前沿性的系統(tǒng)的典范。5年來,Raith有限公司一直在使用其在多特蒙德的應用實驗室,不斷提高電子束光刻系統(tǒng)知識和Raith電子束光刻系統(tǒng)設備的性能。Raith有限公司的全球服務和銷售伙伴為客戶提供幫助。Raith有限公司會在網(wǎng)站上發(fā)布其每年舉行的活動,如客戶會面會、培訓課程和納米研討會等。2006年是Raith有限公司成立26周年紀念日,我們感謝所有客戶對我們產(chǎn)品的信任。Raithmanufacturesavarietyofelectronbeamlithographysystemsforresearchanddevelopmentapplications.Thetoolsaredesignedtomeettheneedsofresearchers,designers,andengineers
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