產(chǎn)品介紹:

PV-2000系列無(wú)接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測(cè)試系統(tǒng)為太陽(yáng)能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、（總厚度變化）TTV、彎曲度及無(wú)接觸電阻率測(cè)量功能。并提供基于TCP/IP的數(shù)據(jù)傳輸接口及基于Windows的控制軟件，用以進(jìn)行在線及離線數(shù)據(jù)管理功能。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■     使用MTI Instruments獨(dú)有的推/拉電容探針技術(shù)
■     每套系統(tǒng)提供多三個(gè)測(cè)量通道
■     可進(jìn)行、小、平均厚度測(cè)量和TTV測(cè)量
■     可進(jìn)行翹曲度測(cè)量（需要3探頭）
■     用激光傳感器進(jìn)行線鋸方向和深度監(jiān)視（可選）
■     集成數(shù)據(jù)采集和電氣控制系統(tǒng)
■     為工廠測(cè)量提供快速以太網(wǎng)通訊接口，速率為每秒5片
■     可增加的直線厚度掃描數(shù)量
■     與現(xiàn)有的硅片處理設(shè)備有數(shù)字I/O接口
■     基于Windows的控制軟件提供離線和在線的數(shù)據(jù)監(jiān)控
■     提供標(biāo)準(zhǔn)及客戶定制的探頭
■     提供基于Windows的動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)用于與控制電腦集成
■     無(wú)接觸，用渦電流法測(cè)量硅片電阻率

技術(shù)參數(shù)：

■    晶圓硅片測(cè)試尺寸：50mm- 300mm.

■  厚度測(cè)試范圍：1.7mm，可擴(kuò)展到2.5mm.

■  厚度測(cè)試：+/-0.25um

■  厚度重復(fù)性：0.050um

■  測(cè)量點(diǎn)直徑：8mm

■    TTV 測(cè)試:  +/-0.05um
■    TTV重復(fù)性: 0.050um

■  彎曲度測(cè)試范圍： +/-500um [+/-850um]

■  彎曲度測(cè)試： +/-2.0um

■  彎曲度重復(fù)性： 0.750um

■    電阻率測(cè)量范圍：0.1-50ohm-cm
■    電阻率測(cè)量：2%

■    電阻率測(cè)量重復(fù)：1%

■    晶圓硅片類型：?jiǎn)尉Щ蚨嗑Ч?/SPAN>

■    可用在：切片后、磨片前、后，蝕刻，拋光以及出廠、入廠質(zhì)量檢測(cè)等

■    平面/缺口：所有的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)平面或缺口

■    連續(xù)5點(diǎn)測(cè)量

典型客戶:

美國(guó)，歐洲，亞洲及國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能及半導(dǎo)體客戶。

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