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日本OTSUKA公司 FE系列 膜厚測(cè)量系統(tǒng)
日本OTSUKA公司 FE系列 膜厚測(cè)量系統(tǒng)
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日本OTSUKA公司 FE系列 膜厚測(cè)量系統(tǒng)

產(chǎn)品價(jià)格:
電議
產(chǎn)品型號(hào):
FE series
供應(yīng)商等級(jí):
企業(yè)未認(rèn)證
經(jīng)營(yíng)模式:
工廠
企業(yè)名稱:
藍(lán)龍香港有限公司
所屬地區(qū):
廣東省
發(fā)布時(shí)間:
2011/4/25 8:18:05

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藍(lán)龍香港有限公司

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經(jīng)營(yíng)模式:工廠

所在地:廣東省

主營(yíng)產(chǎn)品:LED檢測(cè)設(shè)備;照明檢測(cè)設(shè)備;LCD檢測(cè)設(shè)備;積分球;Labsphere公司產(chǎn)品;分光光譜儀;OTSUKA公司產(chǎn)品;粒徑膜厚分析儀;氣體分析儀;

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品牌日本大塚OTSUKA旗下Photal型號(hào)FE series
用途膜厚測(cè)量
配合多元需求,客製化的非接觸式光學(xué)膜厚量測(cè)系列。190~1600nm的廣域量測(cè),0.1nm~250μm的多層膜解析。從研究開發(fā)的桌上型裝置,到製造生產(chǎn)取向的大型自動(dòng)化搬送系統(tǒng)等皆有完整的解決方案。
橢圓偏光儀
FE-5000
反射式膜厚量測(cè)儀
FE-3000
膜厚光譜分析儀系統(tǒng) MCPD series

桌上型橢圓偏光儀
FE-5000S
膜厚量測(cè)儀
FE-300
平面顯示器膜厚量測(cè)裝置
FE seires
半導(dǎo)體膜厚量測(cè)裝置
FE series
生產(chǎn)線製程膜厚量測(cè)系統(tǒng)
MCPD series
      橢圓偏光儀 FE-5000/FE-5000S

      反射式膜厚量測(cè)儀 FE-3000

      膜厚量測(cè)儀 FE-300

      膜厚光譜分析儀系統(tǒng) MCPD series

橢圓偏光儀 FE-5000奈米等級(jí)的橢圓偏光膜厚儀,適用於解析多層膜膜厚、膜質(zhì)管理、光學(xué)常數(shù)(n:屈折率;k:衰減係數(shù))。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍0.1nm ~ 1000nm
波長(zhǎng)量測(cè)範(fàn)圍250nm ~ 1100nm
桌上型橢圓偏光儀 FE-5000S自動(dòng)變換角度的量測(cè)功能,可達(dá)到全角度的高解析。以合理的價(jià)格提供膜厚、光學(xué)常數(shù)解析的新光譜式橢圓偏光儀。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍0.1nm ~ 1000nm
波長(zhǎng)量測(cè)範(fàn)圍300nm ~ 800nm
反射式膜厚量測(cè)儀 FE-3000薄膜到厚膜的廣域量測(cè)範(fàn)圍,多層膜解析、微小口徑量測(cè)等,解決各式各樣的膜厚分析。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍1nm ~ 250μm
波長(zhǎng)量測(cè)範(fàn)圍190nm ~ 1600nm
膜厚量測(cè)儀 FE-300繼承FE-3000的齊,提供固定平臺(tái)與自動(dòng)對(duì)位平臺(tái)兩種規(guī)格。低價(jià)格並不影響高量測(cè)的表現(xiàn)。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍10nm ~ 40μm
波長(zhǎng)量測(cè)範(fàn)圍300nm ~ 800nm
膜厚光譜分析儀系統(tǒng) MCPD series光纖可依照需求建構(gòu)出多樣的量測(cè)系統(tǒng),製程生產(chǎn)線的即時(shí)監(jiān)控或環(huán)境的量測(cè)架設(shè)等,皆有完整的解決方案。

膜厚量測(cè)範(fàn)圍800nm ~ 250μm
波長(zhǎng)量測(cè)範(fàn)圍220nm ~ 1600nm

TOP平面顯示器膜厚量測(cè)裝置 FE series可對(duì)應(yīng)各世代的樣品尺寸

應(yīng)用範(fàn)圍 
LCDITO/Gl,PI/OC/Gl,CF/Gl,Resist/Gl
TFTSiN/a-Si/Gl
有機(jī)OLED有機(jī)OLED/ITO/Gl
PDP鐵導(dǎo)層/Gl
半導(dǎo)體用膜厚量測(cè)裝置 FE series∮300mm晶圓膜量測(cè)的全自動(dòng)搬送裝置

應(yīng)用範(fàn)圍 
Si半導(dǎo)體晶圓膜
SiO2/Si,Resist/Si,SiO2/a-Si,SiO2/SiN/SiO2

TOP製程生產(chǎn)線膜厚量測(cè)系統(tǒng):MCPD series(可配合各式傳輸裝置及生產(chǎn)線)各式薄膜生產(chǎn)線、遠(yuǎn)距離量測(cè)、多點(diǎn)同時(shí)量測(cè)
(1) 顯微鏡量測(cè)端 (2) X-Y軸量測(cè)平臺(tái)【顯微鏡量測(cè)架構(gòu)】
以絕對(duì)反射率達(dá)到高的微小口徑膜厚解析。
(1) 分光光譜儀主機(jī)
(2) 受光光纖
(3) Y型分歧式光纖
(4) 量測(cè)用光源
(5) 橫式移動(dòng)軸
(6) 光纖固定組件

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傳真:
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所在地:
廣東省
類型:
工廠
地址:
廣東省深圳市福田區(qū)車公廟都市陽光名苑3棟28A

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