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應(yīng)用領(lǐng)域:
硬模、半導(dǎo)體材料、薄型聚合物膜、傳感器膜、等離子噴膜
測(cè)量數(shù)據(jù)：
測(cè)量以下材料的彈性模量
硬質(zhì)和超硬模、金屬膜、薄型聚合物膜、低K溶膠膜
大批量材料的彈性模量
膜厚
半導(dǎo)體材料的損傷程度
特點(diǎn)：無損傷檢測(cè)
超硬超薄都能檢測(cè)
檢測(cè)整個(gè)面，并非某個(gè)點(diǎn)
可測(cè)膜范圍廣：從納米到毫米
快速可靠
樣品無需特殊處理
無需校正
作用：
薄膜沉積、涂層噴涂及成品材料表面的過程控制
薄膜和涂層機(jī)械參數(shù)的測(cè)量
膜材料上微結(jié)構(gòu)的無損評(píng)估（如鍵合情況、多孔性和組成）
測(cè)探垂直于表面的彈性和密度梯度
