LYRA 3 XMU/XMH是TESCAN新系列掃描電子顯微鏡中配置的型號。
1.獨有的四透鏡大視野光學(xué)（Wide Field Optics?）和Tescan特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計，提供了多種工作模式和顯示模式。
2.選配了氣體注入系統(tǒng)。
3.鏡筒內(nèi)沒有需要機(jī)械對中結(jié)構(gòu)，取而代之的是容易操作和保養(yǎng)的固定光闌。
4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉(zhuǎn)換器”的作用。
5.高吞吐量/自動取域。例：自動顆粒定點分析。
6.出眾的電動載臺設(shè)計，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
7.由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和機(jī)械真空泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室。
8.完善的顯微鏡自動設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對中。
9.網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程監(jiān)控/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配備。
10.強(qiáng)大的自動功能:全自動真空控制,燈絲自動加熱,自動電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動補(bǔ)償偏壓,改變電子束大小，
自動調(diào)整電子束大小,依據(jù)訊號/噪聲比自動調(diào)整掃描速度,自動對比/亮度調(diào)整,自動聚焦,自動調(diào)整像差等。
11.完全自動的軟件安裝.
12.強(qiáng)大的圖象處理功能,使用的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
I.影像顯示尺寸
1)實時圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
2)儲存圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9種方式。
3)同時可選擇正方形、4x3長方形、2x1長方形等3種尺寸。
4)可同時顯示任意張實時影像或儲存影像。
II.掃描速度：從160ns/圖素到10ms/圖素，可階級式或連續(xù)式的調(diào)整。
III.聚焦窗口：可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。
IV.動態(tài)聚焦,點&線掃描
V. 圖像處理(Image processing)：提供銳化(Sharpening)﹐自動對比調(diào)整(Auto Contrast)﹐去噪聲
化(Noise Reduction)等15種圖像處理功能。
VI.量測功能：提供量測任意兩點的距離，量測任意夾角，不規(guī)則形狀的面積和周長，劃指示箭頭，寫說明文字等13種圖像量測的功能
VII.圖像存盤：
1).瀏覽已儲存圖像的相本。
2).找尋已儲存圖像的數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)。
3).產(chǎn)生及從程序中直接打印。
4).實時或儲存的圖像均可處理。
13.卓越的分析品質(zhì);
1)選擇目標(biāo)區(qū)域：以灰階及彩色為起始點-針對選擇的區(qū)域著色及量測。
2)3D掃描：可通過各探頭的配合，顯示真實的三維圖象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度標(biāo)準(zhǔn)來測量分析樣品。
4)多圖片校正：可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數(shù)。
5)打印放大倍數(shù)：調(diào)整顯示屏以及打印輸出時放大倍數(shù)差異。
6)關(guān)機(jī)時間設(shè)定：可以設(shè)定次自動關(guān)機(jī)時間。
7)公差
可選配軟件
8)形態(tài)學(xué)：該軟件可對樣品圖片進(jìn)行自動分析，測量和分類。其圖片來源可以是顯微鏡，數(shù)碼相機(jī)等。
9)顆粒度分析：可以對多區(qū)域內(nèi)的樣品進(jìn)行自動測量，分析和分類（不過分析樣品必須在掃描窗口內(nèi)）。該軟件結(jié)合形態(tài)學(xué)軟件使用，功能更加完善。
10)自動連續(xù)截圖
11)樣品觀測
12)鼠標(biāo)連接：安裝該軟件后，可以用電鏡的鼠標(biāo)控制其他連接的設(shè)備的鼠標(biāo)進(jìn)行操作。

場發(fā)射(FE-SEM)部分：
1.分辨率:
高真空(SE):1.2nm at 30kV,2.0nm at 3kV ,3.5nm at 1kV
低真空模式(LVSTD,BSE):2.0nm at 30kV
2.放大倍數(shù):3 tox
3.真空系統(tǒng):高真空：樣品室<9*10-3Pa，
槍體真空<1*10-6Pa
低真空：7 to 150Pa,高、低真空可隨時方便切換.
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流1pA—2μA
離子束(FIB)部分：
6.分辨率：<5nm at 30kV and 1pA(在SEM-FIB共焦處）
7.放大倍數(shù):150 tox
8.真空系統(tǒng):槍體真空<5*10-6Pa
9.加速電壓0.5kV to 30kV
10.電子束電流2pA—40nA
11.樣品室內(nèi)部直徑：300mm(寬)*330(深)
樣品室門：280mm(寬) x 310mm(高)
12.樣品臺行程:
X=130mm——馬達(dá)驅(qū)動(–50 mm to +80 mm)
Y=130mm——馬達(dá)驅(qū)動(–65 mm to +65 mm)
Z=100mm——馬達(dá)驅(qū)動
旋轉(zhuǎn)﹕360度連續(xù)——馬達(dá)驅(qū)動
傾斜﹕-30度—90度——馬達(dá)驅(qū)動
樣品高度：139mm
13.樣品臺承重可達(dá)10KG

國內(nèi)一家使用中文操作界面的電鏡廠商
1.系統(tǒng)實現(xiàn)了電子束和離子束的共聚焦，有氣體注入系統(tǒng);
2.可以提供四種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,很方便尋找樣品位置;傾斜電子束模式
3.的低真空二次電子探測器(LVSTD).
4.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測量同時觀測樣品;
5.真空系統(tǒng)采用一臺機(jī)械泵和一臺分子泵，F(xiàn)IB電子槍部分使用離子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻.
6.采用氣墊減震系統(tǒng)
7.先進(jìn)的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
8.完善的自動功能，能幫助您更快更好的獲取圖片
9.9個以上外擴(kuò)展接口.
10.可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制