產(chǎn)品型號：
UNIPOL-160D 雙面研磨拋光機

產(chǎn)品簡介：
UNIPOL-160D 雙面研磨拋光機是一種高雙面研磨和拋光設(shè)備. 它能同時對4片2" 的基片進行雙面研磨和拋光, 并獲得在直徑2"區(qū)域內(nèi)TTV 小于1um .所以它是一臺在實驗室研磨拋光Si, Ge 和氧化物單晶基片的理想工具。



帶拋光墊的不銹鋼下磨盤


帶拋光墊的不銹鋼下磨盤


固定不同尺寸的游行輪




技術(shù)參數(shù)：
1、研磨盤尺寸: 225(外徑）x 94（內(nèi)徑）x 15（厚度）mm

2、上磨盤的重量及配重: 5.5kg (3kg 配重)

3、游行輪規(guī)格: z=54 m=1.5 dia.81mm (環(huán)氧)

4、游行輪多使用數(shù)量: 4

5、加工基片尺寸: dia. 60mm

6、平面度和平行度: 0.001mm

7、研磨和拋光: +/-0.001mm

8、 表面質(zhì)量: > grade 10

9、輸入電源: 單相 AC 220v

10、電機: DC110V/600W/0~1500rpm 可調(diào)

產(chǎn)品規(guī)格：
外形尺寸: 615x375x494mm 凈重: 80kg

可選配件：
一套游行輪有4個，不是標(biāo)配件，但我司能提供。一個游行輪能固定基片的尺寸和數(shù)量如下:

一片直徑 60 mm 或2" 基片
3 片直徑 1" 基片
14 片10x10mm 基片
如需訂購，請告知基片拋光后的尺寸和厚度