高光譜橢偏儀!榮獲 the award of Best of Boston and Best of Braintree for Optical Instruments and Apparatus!
可以測(cè)量折射指數(shù)、消光系數(shù)(n & K),膜厚等,廣泛適用于半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、金屬等材料,單層薄膜和多層膜??蛻?hù)包括US Army Research Lab,NASA,NIST,UC Berkeley,MIT,Harvard,Honeywell和Sharp Microelectronics等;
根據(jù)客戶(hù)需求,可提供不同型號(hào):
變角度單波長(zhǎng)橢偏儀(632.8nm);
變角度多波長(zhǎng)橢偏儀(532, 632.8, 1064nm, …);
變角度光譜橢偏儀(深紫外、紫外-可見(jiàn)-近紅外光譜190-2300nm);
全自動(dòng)變角度光譜橢偏儀(深紫外、紫外-可見(jiàn)-近紅外光譜190-2300nm);
紅外光譜橢偏儀等;
技術(shù)參數(shù):
膜厚范圍:0-30000nm
折射指數(shù):± 0.0001
厚度準(zhǔn)確度:± 0.01nm
入射角度:20 - 90°
波長(zhǎng)范圍:250-1100nm(深紫外、近紅外、紅外可選)
Psi=±0.01°,Delta=±0.02°
主要特點(diǎn):
光譜范圍:UV/VIS range 250 - 1100 nm,可選擴(kuò)展光譜范圍NIR (700 - 1700 nm) or (700 - 2100 nm)、UV-VIS 范圍(190 - 1100 nm) ;
自動(dòng)旋轉(zhuǎn)起偏器可測(cè)量任意偏振狀態(tài);
步進(jìn)掃描分析儀可高速采集低噪音信號(hào);
可變角度范圍:from 10-90°,可升級(jí)為自動(dòng)變角度10-90°控制 ;
單層薄膜/多層薄膜快速薄膜厚度、折射率測(cè)量;
測(cè)試軟件可大范圍Psi和Delta數(shù)據(jù)自動(dòng)測(cè)量,并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行采集和分析,內(nèi)置幾百種材料數(shù)據(jù)庫(kù);
可擴(kuò)展二維自動(dòng)掃描平臺(tái),實(shí)現(xiàn)(50X50mm, 100X100mm, 150X150mm or 200X200mm)Mapping測(cè)量功能以及3D分析;
榮獲 the award of Best of Boston and Best of Braintree for Optical Instruments and Apparatus!







