日立2011年新推出了SU8000系列高分辨場發(fā)射掃描電鏡，其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm，并且在探測器設計上有新的突破，配置了Lower、Up-per和Top三個Everhart-Thornley型探測器，可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多種信號，實現(xiàn)微區(qū)的形貌襯度、原子序數(shù)襯度、結晶襯度和電位襯度的觀測；結合選配的STEM探測器，還可以實現(xiàn)明場像和暗場像的觀測；此外在半導體應用中，還可以安裝EBIC探測器，采集感生電流圖像，極大豐富了信號的采集，對樣品的信息的收集達到了新的高度。
特點：
1. 的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達1.3nm
2. 日立的ExB設計，不需噴鍍，可以直接觀測不導電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能
6. 標配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成
| 項目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
| 二次電子分辨率 | 1.0nm （加速電壓15kV、WD＝4mm） | |||||||
| 1.3nm （加速電壓1kV、WD＝1.5mm） | ||||||||
| 加速電壓 | 0.1～30kV | |||||||
| 觀測倍率 | 20～8000,000(底片輸出) | |||||||
| 60～2,000,000（顯示器輸出） | ||||||||
| 樣品臺 | ||||||||
| 馬達驅動 | 5軸 | REGULUS樣品臺 | ||||||
| 行程 | X | 0～50mm | 0～110mm | |||||
| Y | 0～50mm | 0～110mm | 0～80mm | |||||
| Z | 360° | |||||||
| T | -5～70° | |||||||
| R | 1.5～30mm | 1.5～40mm | ||||||
| 裝載尺寸 | 100mm（） | 150mm（） | 150mm（） | |||||
| 150mm（選配） | 200mm（選配） | |||||||
| 探頭 | ||||||||
| 標配 | Lower | 高立體感圖像 | ||||||
| Upper | 高分辨SE、LA-BSE圖像 | |||||||
| Top | SE的電位襯度像、HA-BSE圖像 | |||||||
| 選配 | STEM | 明場像、暗場像 | ||||||
| YAG 探頭 | BSE圖像 | |||||||
| 半導體探頭 | BSE圖像 | |||||||
| EBIC | 電子束感生電流圖像 | |||||||
| EDS | 元素分析 | |||||||
| 反污染措施 | ||||||||
| 冷指 | 標配 | |||||||
| 物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 | |||||||
| 電子槍 | 內(nèi)置加熱器 | |||||||
| 真空系統(tǒng) | ||||||||
| 離子泵 | 3臺 | |||||||
| 分子泵 | 1臺 | |||||||
| 機械泵 | 1臺 | |||||||
