儀器簡介：
技術(shù)參數(shù)：
主要特點(diǎn)：
S-3400N具有新開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)，具有更多的自動(dòng)化功能，操作界面更友好。
技術(shù)參數(shù)：
| 項(xiàng)目 描述 |
| SE分辨率 3.0 nm (30 kV)，高真空模式 10 nm (3 kV)， 高真空模式 |
| BSE分辨率 4.0 nm (30 kV)，低真空模式 |
| 放大倍率 ×5～×300，000 |
| 加速電壓 0.3～30 kV |
| 低真空范圍 6～270 Pa |
| 樣品尺寸 直徑200 mm |
| 樣品臺(tái) I型 II型 |
| X 0～80 mm 0～100 mm Y 0～40 mm 0～50 mm Z 5～35 mm 5～65 mm R 360º 360º T -20～+90º -20～+90º |
| 樣品高度 35 mm (WD=10 mm) 80 mm (WD=10 mm) |
| 馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 手動(dòng) 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
| 電子槍 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 物鏡光欄 可移動(dòng)式4孔物鏡光欄 |
| 槍偏壓 四階梯度偏壓 |
| 檢測器 二次電子檢測器 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
| 分析位置 WD=10 mm， TOA=35o |
| 控制 鼠標(biāo)、鍵盤，手動(dòng)旋鈕 |
| 自自動(dòng)調(diào)校 自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)四偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、 自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度 |
主要特點(diǎn)：
特點(diǎn):
1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能，包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度等。
2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭，可在低加速電壓下成像。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái)，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品可達(dá)80mm。
5. 分析樣品室可以同時(shí)安裝EDS，WDS 及EBSD等附件。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
