主機(jī)寬度僅為55cm，體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
主要特點(diǎn)：
1、儀器主體比過(guò)去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場(chǎng)地。
2、標(biāo)配低真空功能，可以對(duì)不導(dǎo)電進(jìn)行無(wú)噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。
3、樣品臺(tái)可載入直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進(jìn)行EDX分析。
4、強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能，可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。
5、分子泵真空系統(tǒng)，潔凈無(wú)污染。
技術(shù)參數(shù) ：
| 二次電子分辨率 | 3.0nm（高真空，30kV） |
| 背散射電子分辨率 | 4.0nm（低真空：60Pa，30kV） |
| 倍率 | 5 ~ 300,000倍 |
| 加速電壓 | 0.3~30 kV |
| 樣品臺(tái) | X 0~80mm Y 0~40mm Z 5~50mm T -20~80mm R 360° |
| 樣平臺(tái)控制 | 手動(dòng)（可選：2軸馬達(dá)） |
| 載入樣品尺寸 | 直徑：153mm |
| 觀察范圍 | 直徑：126mm（XYR并用） |
| 樣品高度 | 60mm (WD=15mm) |
| 低真空范圍 | 6-270Pa（從菜單設(shè)定） |
| 燈絲 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
| 槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓、自動(dòng)4偏壓 |
| 檢測(cè)器 | 二次電子檢測(cè)器，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 |
| EDX分析位置 | WD=15mm,TOA=35° |
| 真空系統(tǒng) | 分子泵1臺(tái)，機(jī)械泵1臺(tái) |
| 安全措施 | 停電，漏電，自動(dòng)保護(hù) |
