Quanta FEG系列場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡是FEI公司的新產(chǎn)品之一。是在FEI公司產(chǎn)品XL30 ESEM-FEG場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的。
Quanta FEG場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡綜合場發(fā)射電鏡高分辨和ESEM環(huán)境掃描電鏡適合樣品多樣性的優(yōu)勢，可對各種各樣的樣品（包括導(dǎo)電樣品、不導(dǎo)電樣品、含水含油樣品、加熱樣品等等）進(jìn)行高分辨的靜態(tài)和動態(tài)觀察和分析。
Quanta FEG和Quanta一樣具有優(yōu)異的系統(tǒng)擴(kuò)展性能，可同時安裝能譜儀、波譜儀、EBSP、陰極熒光等附件。
技術(shù)參數(shù)：
1.分辨率：
二次電子:
高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV
高真空減速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可選項)
低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV
環(huán)境真空模式 1.4nm @ 30kV
背散射電子:
高真空和低真空模式: 2.5nm @ 30kV
掃描透射STEM探測器:
0.8nm @ 30kV
2.加速電壓 200V ～ 30kV, 連續(xù)可調(diào)
3.高穩(wěn)定性Schottky場發(fā)射電子槍
4.束流 200nA
5.樣品室壓力達(dá)4000Pa
6.樣品臺移動范圍
Quanta 250 FEG: X=Y=50mm
Quanta 450 FEG: X=Y=100mm
Quanta 650 FEG: X=Y=150mm
主要特點：
1.完全數(shù)字化系統(tǒng)控制，Windows XP操作系統(tǒng)
2.場發(fā)射環(huán)境掃描系統(tǒng)兼顧高分辨和樣品多樣性
3.數(shù)字電影功能可將觀察過程記錄為avi視頻文件
4.穩(wěn)定的大束流(200nA)確保高速、準(zhǔn)確的能譜、波譜和EBSD分析
5.可安裝冷臺、加熱臺、拉伸臺等進(jìn)行樣品原位、動態(tài)觀察和分析
