概要
它是可以對(duì)用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高 (小檢測(cè)感度10ppb) 連續(xù)檢測(cè)的裝置。由于采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式，可以和零氣體不斷比較的同時(shí)進(jìn)行檢測(cè)，所以沒有零點(diǎn)漂移，能夠獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定的檢測(cè)值。由于它通過19英寸RACK方式進(jìn)行了集中，所以系統(tǒng)升級(jí)也很容易。適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理 。
特征
1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時(shí)以數(shù)字形式顯示濃度。
采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式，沒有零點(diǎn)漂移，可以獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定的連續(xù)檢測(cè)值。
不需要進(jìn)行光學(xué)調(diào)整，維護(hù)性得到了提高。
由于搭載有流量(壓力)異常、斷路器(電磁閥)、失火報(bào)警(GA-360E)、電源斷開的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發(fā)生異常時(shí)采取措施。
規(guī)格
測(cè)量原理 | GA-360E:交替流動(dòng)調(diào)制方式非分散紅外線分析法 |
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GA-360E | 交替流動(dòng)調(diào)制方式火焰電離檢驗(yàn)方法 |
檢測(cè)對(duì)象氣體 | GA-360E:CO/CO2/CH4內(nèi)選取2種成分 |
檢測(cè)量程 | GA-360E:0〜1/2/5/10ppm |
