- 品牌/商標(biāo)：HORIBA
- 企業(yè)類型：貿(mào)易商
- 新舊程度：全新
- 原產(chǎn)地：日本
SEC-8000系列為壓電控制閥
超高純：全部金屬結(jié)構(gòu)，金屬密封
采用特殊傳感器及控制閥，適合于150°C高溫烘焙
應(yīng)用領(lǐng)域廣泛：液態(tài)源蒸發(fā)輸送控制，低揮發(fā)壓力氣體輸送控制，金屬有機(jī)源輸送控制，腐蝕性氣體輸送控制，超高純氣體輸送控制等
SEC-2000系列為熱電控制閥
：±1.0% F.S.
線性度：± 0.5% F.S.
重復(fù)性：± 0.2% F.S.
流量控制范圍：2 ~ 100% F.S. (SEC-8000); 5 ~ 100% F.S. (SEC-2000)
響應(yīng)速度：< 2秒 (SEC-8000); < 6秒 (SEC-2000)
氣體接觸部件材料：SUS 316不銹鋼 (SEC-8000)；SUS 316不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封) (SEC-2000)
滿量程流量
SEC8340S/8440S: 5sccm ~ 2slpm
SEC8450S: 3 / 5 / 10slpm; SEC8455S: 10 / 20slpm
SEC8460S: 20 / 30 / 50slpm
SEC8340LS/8440LS: 5sccm ~ 5slpm
SEC8450LS: 10 / 20slpm; SEC8455LS: 30 / 50slpm
SEC8460LS: 50 / 100 slpm
SEC-2410: 10sccm ~ 5slpm
SEC-2510: 10 / 20slpm
SEC-2551: 30 / 50 / 100slpm
超高純：全部金屬結(jié)構(gòu)，金屬密封
采用特殊傳感器及控制閥，適合于150°C高溫烘焙
應(yīng)用領(lǐng)域廣泛：液態(tài)源蒸發(fā)輸送控制，低揮發(fā)壓力氣體輸送控制，金屬有機(jī)源輸送控制，腐蝕性氣體輸送控制，超高純氣體輸送控制等
SEC-2000系列為熱電控制閥
：±1.0% F.S.
線性度：± 0.5% F.S.
重復(fù)性：± 0.2% F.S.
流量控制范圍：2 ~ 100% F.S. (SEC-8000); 5 ~ 100% F.S. (SEC-2000)
響應(yīng)速度：< 2秒 (SEC-8000); < 6秒 (SEC-2000)
氣體接觸部件材料：SUS 316不銹鋼 (SEC-8000)；SUS 316不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封) (SEC-2000)
滿量程流量
SEC8340S/8440S: 5sccm ~ 2slpm
SEC8450S: 3 / 5 / 10slpm; SEC8455S: 10 / 20slpm
SEC8460S: 20 / 30 / 50slpm
SEC8340LS/8440LS: 5sccm ~ 5slpm
SEC8450LS: 10 / 20slpm; SEC8455LS: 30 / 50slpm
SEC8460LS: 50 / 100 slpm
SEC-2410: 10sccm ~ 5slpm
SEC-2510: 10 / 20slpm
SEC-2551: 30 / 50 / 100slpm
