機(jī)器尺寸：長890×寬560×高500mm
XY掃描間距：0.005mm- 5mm可任意設(shè)定
電動伺服平臺：平臺尺寸：400mmx300 mm
XY移動行程：350X270mm
可定做更大行程的工作平臺
攝像機(jī)掃描頻率：60 Field/Sec
測量光源：精密紅色激光線
掃描范圍：多處，任意大小，可編程
照明光源：環(huán)型白色LED照明
測量模式：可編程多處自動掃描測量，手動掃描測量。
視場：20X－100X，5檔可調(diào)
高度測量：±0.002mm
高度重復(fù)測量：±0.004mm
3D模式：3D模擬圖，所有3D數(shù)據(jù)測量
SPC模式：根據(jù)指定的產(chǎn)品、生產(chǎn)線和日期范圍進(jìn)行數(shù)據(jù)查詢、修改、刪除、導(dǎo)出（文本和EXCEL表）、預(yù)覽、打印，能統(tǒng)計(jì)平均值、值、小值、方差、標(biāo)準(zhǔn)差、不良數(shù)、不良率、偏度、峰度、Ca、Cp、Cpk、Pp、Ppk，并可繪制、預(yù)覽、打印X-BAR管制圖和R管制圖。
其他測量功能：全功能2維測量，數(shù)據(jù)管理，其他元器件，線路，油墨高度等掃描測量
操作系統(tǒng)：WindowsXP 重量：55 KG
