產(chǎn)品品牌：

MYCRO

產(chǎn)品型號(hào)：

EDC-100

蝕刻/開(kāi)發(fā)/清洗全套系統(tǒng) （EDC-100系列） 單晶圓蝕刻旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī); 天然聚丙烯NPP材質(zhì)或特富龍材質(zhì) ; 與鍍膜相對(duì)應(yīng)，本系統(tǒng)專為蝕刻，開(kāi)發(fā)及清洗過(guò)程而設(shè)計(jì)； 針對(duì)許多混合水試劑的應(yīng)用提供的解決方案； 可以和650控制器，SPIN3000軟件配套使用 EDC 系統(tǒng) 這是一種靈活，安全和實(shí)惠的研發(fā)工具，EDC 系列常被 應(yīng)用在以溶劑和水為基礎(chǔ)的處理過(guò)程：蝕刻-清洗-干燥，開(kāi)發(fā)-沖洗-干燥，以及利用溶劑和水的清洗。其旋轉(zhuǎn) 涂敷機(jī)部分，具有多種板載滴膠閥的零孔隙度特富龍流 體路徑等特點(diǎn)，干凈的ECTFE圓頂蓋使用戶能夠?qū)崟r(shí)觀 察過(guò)程的安全運(yùn)行，記事是每一單步處理過(guò)程模式也可以（Laurell 獨(dú)有的性能）。 EDC 系統(tǒng)具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按 照蝕刻，開(kāi)發(fā)和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行，如沖洗（通常是去離子水或溶劑），然后干燥（通常是氮?dú)猓┑?后的處理步驟。采用此序貫閥門(mén)技術(shù)的晶圓片和管道在 完全干燥的環(huán)境中開(kāi)通和關(guān)閉處理過(guò)程。隔離和獨(dú)立的 給水器可處在靜態(tài)的位置還可以蓋內(nèi)調(diào)節(jié)。本系統(tǒng)還有可選擇的動(dòng)態(tài)線性或徑向滴膠的特性。雖然在這些過(guò)程 中常采用非真空轉(zhuǎn)頭，該系統(tǒng)仍然具備真空下壓能力。 當(dāng)邊緣控制型或真空型轉(zhuǎn)頭附上稱底時(shí)，門(mén)插銷(xiāo)、門(mén)鎖 和電氣聯(lián)鎖為此提供多重保護(hù)，也包括大容積的廢液和 廢氣排出口。 一般特點(diǎn)： 型號(hào)8 系列為200毫米晶圓設(shè)計(jì)和15個(gè)系列為300毫米晶圓設(shè)計(jì) 數(shù)碼控制處理器 天然結(jié)實(shí)的聚丙烯材料NPP，并帶連鎖門(mén) 清晰可視的ECTFE圓頂蓋子 特氟隆材質(zhì)的控制閥 可調(diào)節(jié)的氮?dú)鈹U(kuò)散處理裝置 可調(diào)降流式排氣及排水（含10’ 柔性導(dǎo)管）裝置 電動(dòng)雙絕緣和超載保護(hù) 安全門(mén)聯(lián)鎖（不允許旋轉(zhuǎn)和試劑滴膠過(guò)程中打開(kāi)處理腔） 安全門(mén)閉鎖（需要特別按鍵才能打開(kāi)處理腔） 安全門(mén)鎖（當(dāng)程序正在運(yùn)行或運(yùn)行結(jié)束后轉(zhuǎn)頭仍在旋轉(zhuǎn)時(shí)，處理腔無(wú)法打開(kāi)。）   一些可供選擇：（參照具體配置要求） 不銹鋼壓力容器 雙重保護(hù)的ECTFE包裹不銹鋼壓力容器（通常為單一4 升瓶） 多重輸出注射器 英制或公制尺寸非真空晶圓轉(zhuǎn)頭 帶微型支架的非真空轉(zhuǎn)頭 真空轉(zhuǎn)頭 真空轉(zhuǎn)接器（為小至3毫米小片稱底設(shè)計(jì)的） 還可提供其他一些轉(zhuǎn)頭，可根據(jù)樣品或具體的尺寸，包括厚度和所有公差要求來(lái)自定義。 請(qǐng)與邁可諾技術(shù)有限公司 中國(guó)營(yíng)銷(xiāo)服務(wù)中心聯(lián)系 Tel: （北京）  (上海)   （廣州） （武漢）8（客服電話） Email: Website: https://www.mycrohk.com