標(biāo)準(zhǔn)的全對(duì)中樣品臺(tái)，能收錄三維照片

3D Sight（選配件），能夠進(jìn)行平面測(cè)量和高度測(cè)量，實(shí)現(xiàn)立體俯視圖。

 日本電子掃描電子顯微鏡SEM-6510工作原理

 微細(xì)結(jié)構(gòu)測(cè)量

適合于多種測(cè)量功能?？稍谟^察圖像上直接進(jìn)行測(cè)量。也可將測(cè)量結(jié)果貼至SEM圖像，保存在文件中。

 可信賴(lài)的真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無(wú)活動(dòng)部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護(hù)簡(jiǎn)便的特色。

  同時(shí)顯示兩幅圖像

畫(huà)面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像?？赏瑫r(shí)觀察樣品的形貌和組成分布。 

 掃描電鏡JSM-6510規(guī)格保證分辨率3.0nm（30kV）

8.0nm（3kV）
15nm（1kV）放大倍數(shù)5至300,000x加速電壓0.5kV至30kV電子槍工廠預(yù)對(duì)中燈絲聚光鏡變焦聚光鏡物鏡錐形物鏡樣品臺(tái)全對(duì)中樣品臺(tái)X-Y80mm-40mmZ5mm至48mm旋轉(zhuǎn)360°傾斜－10°至＋90°排氣系統(tǒng)
（高真空模式）DPx1，RPx1排氣系統(tǒng)
（低真空模式）DPx1，RPx2

 從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍

分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺(tái)監(jiān)視器，一臺(tái)用于SEM圖像觀察和另一臺(tái)用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標(biāo)即可同時(shí)控制兩臺(tái)監(jiān)視器。大尺寸畫(huà)面使操作更加簡(jiǎn)便與舒適。

 工廠預(yù)置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步驟說(shuō)明。