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雙頻激光干涉儀
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雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品價格:
電議
產(chǎn)品型號:
ZLM800
供應商等級:
企業(yè)未認證
經(jīng)營模式:
工廠
企業(yè)名稱:
上海貝丁漢工業(yè)自動化設備有限公司
所屬地區(qū):
發(fā)布時間:
2013/1/5 21:28:54

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李先生(聯(lián)系我時,請說明是在維庫儀器儀表網(wǎng)看到的,謝謝)

企業(yè)檔案

上海貝丁漢工業(yè)自動化設備有限公司

企業(yè)未認證營業(yè)執(zhí)照未上傳

經(jīng)營模式:工廠

主營產(chǎn)品:激光干涉儀,多點溫度測量儀,材料色散測量儀,相位波前角色散測量儀,載波包絡相位調諧儀,載波包絡相移測量儀,激光對中儀,激光同軸度測量儀,PT100溫度變送器,激光平面度測量儀,稱重變送器,激光孔位測量儀

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產(chǎn)品品牌:
耶拿爾
產(chǎn)品型號:
ZLM800

在德國,Jena地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的ZLM700/800雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中,由于具有獨特的性能優(yōu)勢和簡單的操作方法而久負盛名。由本公司代理,德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀,是世界上一家將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀,不僅能夠的測量數(shù)控機床的幾何量,如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等,通過配合使用球桿儀,還能夠測量數(shù)控機床的回轉量。 ZLM系列雙頻激光干涉儀采用模塊化設計和可調型ASIC元件,用戶可以根據(jù)測量目的的不同,選擇不同的反射鏡和輔助元件,以完成各種測量和控制任務。 ZLM700雙頻激光干涉儀主要用于單軸系統(tǒng)的校準和測量,ZLM800干涉儀可從單軸拓展為多軸,廣泛應用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。它能夠完全計算出機械設備的運行軌跡,并通過WINDOWS™軟件按用戶設定的方法對其進行分析。 配用高性能蔡司光學鏡頭,ZLM70/800雙頻激光干涉儀可以完成以下各種測量工作:

  • 位置測量、機械定位
  • 位移測量
  • 速度測量
  • 加速度測量
  • 角度測量(俯仰角、偏擺角、滾動角)
  • 振動度測量
  • 直線度測量
  • 垂直度測量
  • 平面度測量
  • 回轉量測量
  • 對工具和儀器進行校正

工作原理
型ZLM700/800激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻為0.002ppm,640MHz的頻差經(jīng)四倍后用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量,不會出現(xiàn)干擾誤差,信號延時時間極短。 采用光纖電纜,把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C卡槽連接的電子計數(shù)器上,避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此,ZLM700/800雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標準化實驗室和高真空環(huán)境。 除了計算機卡槽接口外,還可以使用其他獨立的電子裝置進行數(shù)據(jù)處理,包括各種接口,用于數(shù)據(jù)輸出和連接成為一個控制環(huán)路。ZLM800型干涉儀可以拓展為六軸測量。
性能要點 
  • 被測物體速度16m/s;
  • 無干擾誤差時的分辨率2.5nm(使用平面干涉鏡時的誤差為1.25nm);
  • 無加速度限制;
  • 當光線微弱時,性能也十分穩(wěn)定;
  • 信號延時<200ns;
  • 激光器壽命內,頻率信號穩(wěn)定;
  • 對電磁干擾不敏感;
  • 使用超級蔡司光學元件。
 

產(chǎn)品的可靠性 
世界范圍內,ISO9000/9004已經(jīng)被廣泛應用于各種質量保證體系。這就要求的企業(yè)必須按照相關要求對生產(chǎn)工藝和控制過程進行嚴格的管理。Jenaer公司就是采用這樣質量管理體系的公司。 測量結果的可靠與否取決于測量的工具、測量方法和操作者。測量系統(tǒng)的校正誤差會極大影響測量的結果的準確性。

本公司的雙頻激光干涉儀可以通過軟件來減小測量系統(tǒng)的校正誤差。把兩個四象限傳感器置于激光器內,一個用于測量光束,另一個用作參考光束,從而保證了以優(yōu)的方式來校正干涉系統(tǒng)與被測物體。由于使用大屏幕顯示,系統(tǒng)校正會非常靈敏,從而方便校正。

使用軟件校正的優(yōu)點

  •  通過屏幕顯示來校正系統(tǒng)的,能夠節(jié)約設定時間;
  • 激光器的校正是一個精細的過程,即使對復雜的測量任務也能勝任;
  • 能過保證校正結果的性能。



智能化測量的方法

  ZLM700/800的信號處理電路采用可調的ASIC元件。ZLM系列雙頻激光干涉儀針對不同的測量目的,采用不同的控制信號,以完成各種測量工作。 ZLM700/800雙頻激光干涉儀可以連接外部計數(shù)系統(tǒng),它使得被測設備和激光干涉儀之間的比較變得更為方便,節(jié)約過程時間。這一過程使用實時耦合信號,使得數(shù)據(jù)分析能夠滿足德國和世界標準。

數(shù)據(jù)分析處理的標準
VDI / DGQ 3441
DIN / ISO 230
VDI / VDE 2617

NMTBA

精準的測量方法 

      即使是標準配置,ZLM700/800雙頻激光干涉儀的分辨率也能夠達到5nm,測量優(yōu)于1 µm/m。這就需要使用AUK500自動環(huán)境補償器(俗語:氣象站)來提供環(huán)境溫度的一些參數(shù),通過參數(shù)補償,使其環(huán)境指標達到實驗室測量的標準。

      ZLM700/800雙頻激光干涉儀使得測長機械和比較器的校正變得更為簡單。

  空氣環(huán)境對測量結果的影響可以通過使用AUK500環(huán)境自動補償器來修正,也可以手工輸入來修正。多可連接五個材料溫度傳感器對所測物體的溫度進行補償。


簡易的測量方法

ZLM700/800雙頻激光干涉儀使用WINDOWS™數(shù)據(jù)分析軟件,長度測量結果極為準確,對測量數(shù)據(jù)的分析也特別方便。用戶只需要登錄測量的數(shù)據(jù)庫,就可以輕松查詢各種數(shù)據(jù)表和圖示。無論是檢測位置、角度或者是直線度,由卡爾蔡司設計的專用軟件都可輕松集成于各種微軟WINDOWS™操作系統(tǒng)中。測量、分析、記錄收集、數(shù)據(jù)歸檔都可輕松的完成,大大節(jié)約了工作時間。 對測量結果的處理是一項重要的工作,通過集成式記錄編輯器,對圖表、數(shù)據(jù)表和用戶添加的內容都可輕松的編輯和打印。所有記錄的內容都可導出為Word文檔。 
  在準備和測量階段,重要的信息屏幕上會凸出顯示。僅需要通過鼠標或幾個按鍵,就可快速現(xiàn)實各種功能。
要對測量的數(shù)據(jù)進行計算和分析,通過簡單操作就可生成各種圖解和表格。即使是微小的細節(jié)也能夠顯示出來。  
  所測數(shù)據(jù)可以在存檔卡中進行存檔。通過存檔卡標簽,用戶可以輕松的對某些測量結果從大量的文檔中進行查找。


優(yōu)勢性能
      測量
  • 記錄打印
  • 校準標定
  • 工藝優(yōu)化
      校準、定位、對齊
  • 機器誤差補償
  • 鉛錠誤差補償
  • 螺距誤差補償
      控制
  • 運動分析
  • 動態(tài)行為
  • 誤差補償


技術參數(shù)

  使用標準數(shù)據(jù)處理器AE700 使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950
He-Ne激光平均波長: 632.8 nm 632.8 nm
激光穩(wěn)頻: 一小時2x10-9(±0.002ppm) 壽命內2x10-8(±0.02ppm) 一小時2x10-9(±0.002ppm) 壽命內2x10-8(±0.02ppm)
系統(tǒng)(0-40℃時): ±0.4ppm ±0.4ppm
光束直徑: 6mm (可選3.2mm) 6mm (可選3.2mm)
激光管突發(fā)輸出功率: 1mW (激光等級2) 1mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù): 1,可選多6個 1,可選多6個
線性測量距離: 40m,可擴展為120m 40m,可擴展為120m
角度測量范圍: ± 15°,20m行程 ± 15°,20m行程
平面度測量范圍: 20m行程 20m行程
直線度測量范圍: ± 5mm,2m或10m行程, 選用角度干涉儀可測30m行程 ± 5mm,2m或10m行程, 選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍: ± 5mm,2m或10m行程, 30m行程需用角度干涉儀 ± 5mm,2m或10m行程, 30m行程需用角度干涉儀
速度: 4m/s,可選16m/s 320rad/s 角速度 4m/s,平移量 80rad/s,角速度
加速: 無限制 無限制
采樣頻率: 內部1MHz,外部40MHz 內部1MHz,外部40MHz
預熱時間: 12分鐘 12分鐘
/非線性: ±1.25nm (角隅反射鏡) ±0.62nm (平面反射鏡) ±0.3nm (角隅反射鏡) ±0.1nm (平面反射鏡)
距離測量分辨率: 2.5nm (角隅反射鏡) 1.25nm (平面反射鏡) 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選
距離測量: (20°± 0.5°) 使用AUK時 (20°± 0.5°) 真空中時   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測量分辨率: 2.5nm (角隅反射鏡) 1.25nm (平面反射鏡) 0.62nm可選 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選
線性度測量: (20°± 0.5°) 使用AUK時 (20°± 0.5°) 真空中時   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m
速度測量: ±0.5ppm實測值 ±0.5ppm實測值
角度測量分辨率: 0.062μrad (12x10-3 弧秒) 0.015μrad (3x10-3 弧秒)
角度測量: ±0.1ppm實測值 ±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率: 0.062μrad (12x10-3 弧秒) 0.015μrad (3x10-3 弧秒)
平面度測量: ±0.2%實測值 ±0.05弧度/米運行距離 ±0.2%實測值 ±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率: 145nm,10m行程 29nm,2m行程 36nm,10m行程 7.25nm,2m行程
直線度測量: ±0.5%實測值,2m行程 ± 2.5%實測值,10m行程 ±0.5%實測值,2m行程 ± 2.5%實測值,10m行程
垂直度測量分辨率: 145nm,10m行程 29nm,2m行程 36nm,10m行程 7.25nm,2m行程
垂直度測量: ±0.5%實測值2m,± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m,± 0.5弧秒* ±0.5%實測值2m,± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m,± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口: 積分信號
32 Bit (實時時間)
Dt » 20 ns
積分信號
32 Bit (實時時間)
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標準: ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境: 溫度:15°C-30°C 濕度: <90%無冷凝 溫度:15°C-30°C 濕度:<90%無冷凝
儲存環(huán)境: 溫度:10°C-40°C 濕度:<95%無冷凝 溫度:10°C-40°C 濕度:<95%無冷凝
如果需要更詳細的中文樣本或說明書,歡迎來電索取。

 


聯(lián)系方式

上海貝丁漢工業(yè)自動化設備有限公司

聯(lián)系人:
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