- 產(chǎn)品品牌：
- 日立
- 產(chǎn)品型號：
- S-3400N
- 類型：
- 光學(xué)顯微鏡
產(chǎn)品名稱：日立掃描電子顯微鏡S-3400N
日立掃描電子顯微鏡S-3400N的介紹
具有新開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)，強大的自動化功能，操作更簡易。
日立掃描電子顯微鏡S-3400N的特點
1. S-3400N具有強大的自動功能，包括自動燈絲飽和、4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸自動聚焦和消像散、自動亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉可以同時安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
日立掃描電子顯微鏡S-3400N的技術(shù)指標(biāo)
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項目 |
描述 |
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SE分辨率 |
3.0nm (30kV)，高真空模式 10nm (3kV),高真空模式 |
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BSE分辨率 |
4.0nm (30kV)，低真空模式 |
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放大倍率 |
x5 ~ x300,000 |
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加速電壓 |
0.3 ~ 30 kV |
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低真空范圍 |
6 ~ 270 Pa |
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樣品尺寸 |
直徑200mm |
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樣品臺 |
I型 |
II型 |
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X |
0 ~ 80mm |
0 ~ 100mm |
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Y |
0 ~ 40mm |
0 ~ 50mm |
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Z |
5 ~ 35mm |
5 ~ 65mm |
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R |
360º |
360º |
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T |
-20º~ +90º |
-20º ~ +90º |
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樣品高度 |
35mm (WD=10mm) |
80mm (WD=10mm) |
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驅(qū)動類型 |
手動 |
五軸馬達(dá)驅(qū)動 |
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燈絲 |
預(yù)對中鎢燈絲 |
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物鏡光欄 |
可移動式4孔物鏡光欄 |
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槍偏壓 |
固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏 |
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檢測器 |
二次電子檢測器 |
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分析位置 |
WD=10mm, TOA=35o |
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控制 |
鼠標(biāo)、鍵盤，手動旋鈕 |
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自動調(diào)校 |
自動燈絲飽和、自動4偏壓、自動槍對中、自動束流設(shè)定、自動合軸、自動聚焦 消像散、自動亮度對比度 |
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