一、技術(shù)參數(shù)

行程范圍：X軸------700 mm Y軸------800 mm Z軸------600 mm

結(jié)構(gòu)型式：活動橋式

傳動方式：柔性齒同步帶+預(yù)載荷高空氣軸承

長度測量系統(tǒng)：RENISHAW（英國）開放式光柵尺，分辨率為0.5 μm

機臺：高花崗巖平臺

使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m 溫度變化 1℃/h

空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

空氣流量：100 L/min – 120 L/min

整機尺寸：1.7 m X 1.9m X 2.7m

機臺承重：750 kg

整機重量：950 kg

控制及探針測量系統(tǒng)： 1．驅(qū)動系統(tǒng)：直流伺服電機 (日本) 2．控制系統(tǒng)：Renishaw （英國） UCC 3．操作方式：計算機自動控制 + 微電腦操縱盒 4．控制軟件：SEREIN DMIS V2.0 5．探測系統(tǒng)：Renishaw（英國）MH20i +TP20 （標(biāo)準(zhǔn)配置） 6．測量不確定度（E）：（3+L/300）μm

二、機械特點

 1．整機設(shè)計采用單邊活動橋式結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)緊湊，大幅降低了活動框架的重量，顯著提高了系統(tǒng)的運動性能，確保了測量及穩(wěn)定性。

2．三軸導(dǎo)軌均采用高精密天然花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，保證測量過程中良好的溫度穩(wěn)定性及剛性。

 3．三軸導(dǎo)軌均采用自潔式預(yù)載荷高空氣軸承，使運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌永不受磨損。

 4．長度測量系統(tǒng)采用英國 RENISHAW 的自粘開放式金屬光柵尺，使光柵尺與花崗巖基體的熱膨脹系數(shù)接近，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性。

5．控制系統(tǒng)采用英國 RENISHAW 的 UCCLITE 高速高自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器，真正實現(xiàn)實時控制。

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