- 產(chǎn)品型號(hào):
- UB5000硅片檢測(cè)顯微鏡
- 類(lèi)型:
- 金相顯微鏡
大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡、大視野目鏡、圖像清晰,襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開(kāi)發(fā)的,作為工業(yè)顯微鏡使用??蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀(guān)察、落射偏光、DIC觀(guān)察,廣泛用于工廠(chǎng)、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。
| 技術(shù)規(guī)格 | |
| 觀(guān)察頭 | 30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0mm-75mm) |
| 目鏡 | WF10×/25mm |
| WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板 | |
| 轉(zhuǎn)換器 | 帶DIC插孔明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器 |
| 物鏡 | 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作 距離明暗場(chǎng)物鏡:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 10×/0.25B.D/W.D.16mm 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm |
| 平臺(tái) | 雙層移動(dòng)平臺(tái) |
| 平臺(tái)尺寸: 350mm×310mm | |
| 移動(dòng)范圍:250mm×250mm | |
| 濾色片 | 插板式濾色片(綠、藍(lán)、中性) |
| 調(diào)焦 | 粗、微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動(dòng)機(jī)構(gòu) 微動(dòng)格值0.002mm |
| 光源 | 落射照明:帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/100W,AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié) |
| 偏光裝置 | 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路 |
| 檢測(cè)工具 | 0.01mm測(cè)微尺 |
| 可供附件 | 目鏡:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm |
| 300萬(wàn)、500萬(wàn)、900萬(wàn)、1400萬(wàn)像素CMOS芯片數(shù)字?jǐn)z像頭 | |
| 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
| 二維測(cè)量軟件 | |
| 金相圖像分析軟件 | |
| DIC(10×、20×、40×、100×) | |
| 攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | |
| 壓平機(jī) | |
| 彩色CCD 芯片 300萬(wàn),500萬(wàn),800萬(wàn)像素?cái)z像頭 | |








