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高半自動光刻機 北京特博萬德科技有限公司
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高半自動光刻機 北京特博萬德科技有限公司

產品價格：
電議
產品型號：
可選擇
供應商等級：
免企業(yè)未認證
經營模式：
工廠
企業(yè)名稱：
北京特博萬德科技有限公司
所屬地區(qū)：
北京市
發(fā)布時間：
2014/10/23 19:58:33

010-87700693      13810504825

李先生先生(聯(lián)系我時，請說明是在維庫儀器儀表網(wǎng)看到的，謝謝)

企業(yè)檔案

北京特博萬德科技有限公司

免企業(yè)未認證證營業(yè)執(zhí)照已上傳

經營模式：工廠

所在地：北京市

主營產品：晶圓全檢儀、低溫真空泵

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  • 原產地：美國

能力

數(shù)值

X, Y方向運動距離，

+/-6mm； 
0.1微米

Z方向

+/-0.5微米

Theta; 

+/-3°；0.001°

光罩旋轉

+/-15°

控制方式

軟件控制，多種工藝參數(shù)可自行設定

卡盤移動控制

電子桿

光刻模式

靠近、軟接、硬接和真空接觸

預對準能力

X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5°

精對準能力

小于1微米

光罩尺寸

 14”×14”

適用的樣品尺寸

50 ～ 300mm

光源選擇

近紫外，中紫外和深紫外

 

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北京特博萬德科技有限公司

聯(lián)系人：
李先生先生
手機：
13810504825
傳真：
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所在地：
北京市
類型：
工廠
地址：
北京市朝陽區(qū)四惠橋凌科商務花園406

服務熱線

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