產(chǎn)品用途
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像與目視的高、率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點
●X、Y、Z軸0.5μm分辨率;
●高非接觸式光測高度量測模塊;
●Z軸粗調(diào)/微調(diào)旋鈕;
●同軸表面光/底光測量;
●內(nèi)建偏光量測光學模塊;
●可量測透明材質(zhì)納米級高度差
技術(shù)參數(shù)
規(guī)格型號 MTM-1510M MTM-2010M
工作行程X、Y、Z軸 150*100*120(mm)200*100*120(mm)
光學尺分辨率 0.5μm
示值誤差 X、Y坐標≤(3+L/75)μm(L為測量長度,單位mm)
影像系統(tǒng)彩色1/2“CCD攝像機;640*480像素;結(jié)合測量軟件
顯微鏡系統(tǒng)目鏡:10倍
濾光片:紅,藍,綠,白
測量模式:反射,,偏光
5孔物鏡轉(zhuǎn)換器
照明系統(tǒng)照明光源:白光LED,亮度可調(diào)
同軸照明光源:鹵素燈,亮度可調(diào)
物鏡
倍率 5X 10X 20X 30X
工作距離(mm)20.0 18.3 8.8 2.0
高度量測模塊(選配件)光干涉高度量測模塊(M10-CA),高度量測分辨力0.5μm(選配)
倍率:10X,工作距離5mm,光學分辨力2μm
其它參數(shù)
外形尺寸(mm)590*560*850
儀器重量(kg)100 110
電源功耗 110V—220V 50/60Hz<60W








