石英是離子型的晶體,當發(fā)生拉伸或壓縮時能產(chǎn)生電化現(xiàn)象,稱為壓電,這是因為其結(jié)晶點陣的有規(guī)則分布所致。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不取決于其幾何尺寸,切割類型,而且還取決于芯片的厚度。當芯片上鍍了某種膜層后,芯片的厚度,則芯片的固有頻率會相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過測量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。
膜厚監(jiān)控儀(FTM)是如何工作的呢?鍍膜時,膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的振動,測試每秒鐘振動次數(shù)的改變,從所接受的數(shù)據(jù)中計算膜層的厚度。








