產(chǎn)品簡介

   NCS-R80無接觸厚度電阻率測試儀是一款用于硅片的厚度、電阻率測量的儀器，該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎的材料，的設(shè)計(jì)都合ASTM(美國材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會)和Semi標(biāo)準(zhǔn)，與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。

特征

■無接觸傷測量

■電阻率和厚度同時(shí)測量

■適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎的材料

■電腦觸摸屏顯示

■干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好                                      

■強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示

■一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定

■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測量

技術(shù)指標(biāo)

■測試尺寸：50mm- 300mm.

■厚度測試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um

■厚度測試：+/-0.25um
■厚度重復(fù)性：0.050um

■TTV測試: +/-0.05um
■TTV重復(fù)性: 0.050um

■電阻率測試范圍：0.1ohm.cm——50 ohm.cm
■電阻率測試：+/- 2%

■電阻率測量重復(fù)：+/- 1%

■晶圓硅片導(dǎo)電型號：P 或 N型

■材料：Si，GaAs，InP，Ge等幾乎半導(dǎo)體材料

■可用在：切片后、磨片前、后，蝕刻，拋光以及出廠、入廠質(zhì)量檢測等

■平面/缺口：的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)平面或缺口

■硅片安裝：裸片，藍(lán)寶石/石英基底，黏膠帶

■連續(xù)5點(diǎn)測量

應(yīng)用范圍

>切片

>>線鋸設(shè)置

>>>厚度

  >>>總厚度變化TTV

          >>>電阻率

    >>監(jiān)測

>>>導(dǎo)線槽

>>>刀片更換

>磨片/刻蝕和拋光

>>過程監(jiān)控

>>厚度

>>總厚度變化TTV

>>材料去除率

>研磨

>>材料去除率

>終檢測

>>抽檢或全檢

>>終檢厚度

>>終檢電阻率

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