PSM-1000工業(yè)顯微鏡：采用的一體化設(shè)計(jì)，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，造型新穎，使用方便，并具有豐富的擴(kuò)展功能，可以廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
　　
　　1.人機(jī)工程頭部
　　PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°~30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者觀察更加舒適。
　　2.管鏡
　　PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1x NUV、1x NIR和2x管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡單、方便。其中1x NUV對(duì)355nm和532nm波長進(jìn)行了優(yōu)化，1x NIR對(duì)532nm和1064nm波長進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這三個(gè)波長的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過率。
　　3.光路切換拉桿
　　通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換，當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光100%的進(jìn)入光路，了激光效率，當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
　　4.偏光觀察
　　主體上留有偏光插孔，插上偏光附件（選配件），可進(jìn)行偏光觀察。
　　5.調(diào)焦機(jī)構(gòu)
　　PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作，調(diào)焦機(jī)構(gòu)可承載45磅（20.4kg），安裝激光器的CCD攝像頭后，任然可以正常工作。
　　
　　6.轉(zhuǎn)換器
　　PSM-1000采用四孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨即配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便的調(diào)整物鏡的齊中。
　　7.物鏡
　　PSM-1000采用長工作距離的無應(yīng)力平場復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量，關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。
　　8.數(shù)碼攝像系統(tǒng)
　　根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成攝像數(shù)碼系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或器上同步觀察。
　　9.照明系統(tǒng)
　　采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源，長達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器（選配件）給PSM-1000帶來更自由的操作空間。
　　10.探測工作站
　　PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上，進(jìn)行硅片的測試。
　　11.激光裝置
　　PSM-1000的攝像接口處裝有激光定位銷，雙目頭前留有安裝激光濾的位置，并提供補(bǔ)償墊片，無需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光濾安裝上。