應用
LEXT OLS4100可用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D 表面形貌、
2D 的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。
? 精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結構有要求的部件；
? 生命科學
? 電子元件：光掩膜，微透鏡，柔性電路板接觸點，MEMS等
? 半導體：晶圓凸起，導光板，芯片焊點，導光板激光點等
? 原材料/金屬加工：電鍍金剛石工具，碳精棒，細管，膠帶等
? 紙張：紙張、錢幣表面三維形貌測量
? LED行業(yè)
■技術參數
光源：405nm半導體激光 白色LED
檢出系統：光電管
變焦：光學變焦：1～8X，數碼變焦：1～8X
分辨率：移動分辨率10nm，顯示分辨率1nm
物鏡轉換器：6孔電動物鏡轉換器
物鏡：100x，50x，20x，10x，5x等
XY載物臺：100×100 mm（電動載物臺），可選： 300×300 mm（電動載物臺）
