VS系列全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀是一款精良的寬量程氦質(zhì)譜檢漏儀，它含有渦輪分子高真空泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作員界面，以及可選功能組件。VS　MR15x　和　VS　MD30x型號(hào)檢漏儀可選用雙輪車。檢漏儀型號(hào)都適用于　100/115　VAC　和　230　VAC
　　
　　應(yīng)用領(lǐng)域：
　　
　　VS系列全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用于工業(yè)真空爐、鍍膜系統(tǒng)、電子束焊接設(shè)備；電廠冷凝器、熱交換器、蒸汽管線、地下沖壓電纜；物理同步加速器、束線、同步輻射光源；電子掃描顯微鏡、半導(dǎo)體加工、薄膜制備、質(zhì)譜分析、真空電子管、激光加工等領(lǐng)域。
　　
　　特點(diǎn)：
　　
　　※多種語言和計(jì)量單位選擇，可選中文界面
　　※135o電離偏轉(zhuǎn)（自然聚焦點(diǎn)）的質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)
　　※新的電子線路及信號(hào)處理設(shè)計(jì)
　　※小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個(gè)量程
　　※快速清氦和快速響應(yīng)
　　※測試口耐壓高，可實(shí)現(xiàn)大漏檢漏　

其他說明

性能指標(biāo)	PR02/PD03	MR15和MD30
性能	前級(jí)泵內(nèi)置式	前級(jí)泵外置式及小車
前級(jí)泵油式機(jī)械泵	DS-42,2 m3/hr (34 l/m)	DS-302,14 m3/hr (232 l/m)
渦卷式干泵	干泵-2 m3/hr (34 l/m)	TS-620 30 m3/hr (500 l/m)
小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下	5*10 -12 atm cc/sec;5*10 -12 mbar l/s;5*10 -13 Pa m3/sec ,氦氣
測試口耐壓	13 mbar,10 Torr,1330 Pa
測試口處對(duì)氦氣抽速	1.8 l/s
校準(zhǔn)	自動(dòng)或手動(dòng)(內(nèi)置或外置)
氦本底清	按鍵清,并具有點(diǎn)追蹤功能
操作界面	高清晰彩顯,TFT觸摸屏
語言選擇	中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語
循環(huán)檢測	可編程粗抽時(shí)間/測試時(shí)間,設(shè)置報(bào)廢點(diǎn)
響應(yīng)時(shí)間	<0.5秒
設(shè)定點(diǎn)	標(biāo)準(zhǔn);5個(gè)設(shè)定點(diǎn);常開或常閉;3個(gè)漏率點(diǎn);1個(gè)壓強(qiáng)點(diǎn);1個(gè)聲訊點(diǎn)
通訊協(xié)議	RS-232 通訊接口,9600波特率(9芯串口)
執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)	UL,CE,CSA
無限遠(yuǎn)程控制(選件)	2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA電池/5VDC電源