INFICON的Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)PSG500和 PSG502-S 代表封裝在堅(jiān)固耐用小型管殼內(nèi)的的Pirani技術(shù)。溫度補(bǔ)償提供快速與穩(wěn)定的真空測量并消除了對大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問題。堅(jiān)固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)，以及常規(guī)用途如前級真空管道中。
特點(diǎn)
占空間小
任何方位安裝
不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件
化的溫度補(bǔ)償
易于集成的對數(shù)訊號輸出
至10巴壓力的高過壓能力，用螺紋連接件
烘烤型在法蘭處可250°C
易于更換的傳感單元
應(yīng)用
控制高真空電離真空計(jì)
前級真空壓強(qiáng)監(jiān)測
真空系統(tǒng)中的電路
在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制
特點(diǎn)
占空間小
任何方位安裝
不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件
化的溫度補(bǔ)償
易于集成的對數(shù)訊號輸出
至10巴壓力的高過壓能力，用螺紋連接件
烘烤型在法蘭處可250°C
易于更換的傳感單元
應(yīng)用
控制高真空電離真空計(jì)
前級真空壓強(qiáng)監(jiān)測
真空系統(tǒng)中的電路
在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制
