UL1000氦質(zhì)譜檢漏儀合微電子工業(yè)生產(chǎn)的要求。從堅(jiān)固的金屬外殼到方便移動(dòng)的滾輪，至I？CAL，用于消除在10-11至10-12靈敏漏率范圍中長(zhǎng)平衡時(shí)間的運(yùn)算法則，都無(wú)不顯示了其的性。
　　系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的自診斷程序。并可調(diào)用氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會(huì)干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動(dòng)。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
　　UL1000具有可轉(zhuǎn)動(dòng)的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測(cè)量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。通過(guò)E-MAIL更新軟件，新的固件可通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。
　　
　　產(chǎn)品應(yīng)用：
　　
　　半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)，該設(shè)備本身帶或未帶有渦輪分子泵
　　工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝
　　元器件在組裝前的漏率測(cè)試
　　要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件的應(yīng)用場(chǎng)合
　　優(yōu)勢(shì)所在：
　　
　　◆具有的ICAL本底穩(wěn)定功能，提供在10-12毫巴？升/秒范圍內(nèi)的測(cè)量速度和穩(wěn)定性。
　　
　　◆可270度旋轉(zhuǎn)的顯示器，大而清楚的字體可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。可以數(shù)顯，模擬顯和趨勢(shì)顯示三種顯示方式。菜單式控制軟件，易于使用
　　
　　◆德國(guó)萊寶機(jī)械泵，抽速：16米3/小時(shí)?？稍诘蜏丨h(huán)境下啟動(dòng)檢漏儀
　　
　　◆德國(guó)普發(fā)三級(jí)渦輪進(jìn)氣分子泵，抽速：>70升/秒，采用半磁懸浮軸承，即使90000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速也不會(huì)磨損軸承，高氦壓縮比：比其他檢漏儀高2－4倍。
　　
　　◆兩條鍍釔的銥絲，當(dāng)一只燈絲斷了以后，能自動(dòng)切換到另一只。UL1000的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使燈絲可耐大氣沖擊和污染。離子源保修3年。
　　
　　◆UL1000采用全逆擴(kuò)散檢漏方式，即使是在精檢和精檢模式依然采用逆擴(kuò)散檢漏方式。地減少對(duì)檢漏儀質(zhì)譜室的污染。UL1000的質(zhì)譜室終生免維護(hù)。
　　
　　◆采用的毛細(xì)管式TL7校準(zhǔn)漏孔，不受環(huán)境溫度變化影響，因此不需要溫度補(bǔ)償。的測(cè)試罐校準(zhǔn)模式不校準(zhǔn)儀器，也校準(zhǔn)檢漏罐，是的校準(zhǔn)。
　　
　　◆英?？倒驹诒本虾：蛷V州設(shè)有維修中心及備件倉(cāng)庫(kù)，可以提供24小時(shí)服務(wù)。工程師在德國(guó)總部接受過(guò)嚴(yán)格培訓(xùn)。國(guó)內(nèi)的各維修中心存有備用氦檢漏儀，可在緊急情況下提供給用戶使用。INFICON有指定維修代理，可提供日常技術(shù)支持及維修　

其他說(shuō)明

技術(shù)參數(shù)

小可檢漏率(按S2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn)) <5*10 -12 mbar.l/s 小可檢漏率(吸模式) <3*10 -8 mbar.l/s 入口壓強(qiáng)                       粗檢模式                                        精檢模式                                         精檢模式 15 mbar 2 mbar 0.4 mbar 抽泵抽速 16-25立方米/小時(shí) 氦氣抽速(進(jìn)氣口處)    粗檢模式                                            精檢模式                                            精檢模式 8 升/秒 7升/秒 2.5升/秒 可檢質(zhì)量數(shù) 2,3,4amu, 氫, 3 氦,氦 電源電壓 110-120V;220-240V 重量 110公斤;242磅 尺寸,包括手把(長(zhǎng)*寬*高) 1068*525*850毫米