?新設(shè)計(jì)低噪音線性伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),500mm/sec的掃描
???掃描測量軸,步測量軸,焦點(diǎn)測量
軸的分辨率可0.1μm的高精解析
?具有可移動(dòng)的穿透法掃描功能
???掃描范圍:200mm×150mm
?0.1μm 編碼器分辨率
???焦點(diǎn)測量軸的位移:
50mm/0.1μm分檔器分辨率
???儀器尺寸:
495(W)×386(D)×450(H)mm
掃描儀 IS-350
???新設(shè)計(jì)低噪音線性伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
1000mm/sec的掃描
???0.5μm 編碼器分辨率
?3軸,4軸或5軸系統(tǒng)
???掃描范圍:350mm x 350mm
?。?00mm硅薄片檢驗(yàn),同時(shí)可測2枚JEDEC標(biāo)準(zhǔn)托盤)
???儀器尺寸:680(W)x 800(D)x 1320(H)mm
?。坎僮飨到y(tǒng):Windows 7/64bit
雙探頭(2CH)同時(shí)數(shù)據(jù)收集功能。
?。啃屎蜕a(chǎn)力的強(qiáng)化
???具有不同頻率的探頭
???具有不同焦點(diǎn)的探頭
???2個(gè)焦點(diǎn)測量軸可同步測量也可分離測量
?脈沖反射法和穿透法的兩種手法可同步使用
Insight Image 軟件
?多層掃描圖像
?。空龜?shù)值,負(fù)數(shù)值,值值的不同圖像
???各A,B,C-層掃描可重復(fù)再建
?立體3D圖像
?。款l率信號(hào)的模擬計(jì)算
C-層掃描設(shè)備
?。?,4,5,6,7或8軸掃描系統(tǒng)
?。慷喾N伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可供選擇
?。?5MHz和500MHz的接收器可專門配制
探頭功能
???種微小電子部件和實(shí)裝部件
?。ㄐ酒?,QSP,陶器,薄膜)
???復(fù)合材料的檢測
?。款l率可提供1MHz-250MHz.







