INFICON公司生產的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經濟的規(guī)管中，測量壓強從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復性
和再現性壓強測量，用于的濺射過程的壓強控制。
HPG400皮拉尼真空計詳細資料
優(yōu)點：
寬的測量范圍從5x10-10毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓)
好的重復性,過程壓強范圍10-8 … 10-2毫巴均為5%
皮拉尼連鎖保護燈絲,過早燒毀
雙敷涂釔的氧化銥長壽命燈絲
可選圖形顯示和現場總線接口
自動高真空皮拉尼調整,減少操作人員的干預
容易更換具有在機校準的傳感元件,高度重復性
應用：
半導體工藝和輸送室中的壓強測量
工業(yè)鍍膜
一般真空測量和控制,從真空范圍
訂 購 資 料
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型號 |
HPG400 Without LCD display |
HPG400 With LCD display |
HPG400-SP With Profibus DP1） |
HPG400-SD With DeviceNet1） |
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DN 25ISO-KF |
353-520 |
353-521 |
353-525 |
353-527 |
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DN 40CF-R |
353-522 |
353-523 |
353-526 |
353-528 |
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更換傳感器25ISO-KF |
354-487 |
354-487 |
354-487 |
354-487 |
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更換傳感器40CF-R |
354-488 |
354-488 |
354-488 |
354-488 |
