ANT130-XY系列雙軸納米平移臺
1.結構緊湊的納米平移臺
2.大行程實現(xiàn)納米定位
3.高分辨率(1納米),重復定位(50納米),定位(250納米)
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性

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ANT130-XY系列雙軸納米平移臺
1.結構緊湊的納米平移臺
2.大行程實現(xiàn)納米定位
3.高分辨率(1納米),重復定位(50納米),定位(250納米)
4.3納米的位置穩(wěn)定性
5.爬行十字交叉滾珠軸承
6.高動態(tài)特性