一、STACIS 2100用戶及應用領域

l 微電子、半導體

-晶片檢測

-顯微光刻技術

-掩膜校準

l 科學研究、納米技術

-SEM, TEM

-STEM, SPM

l 激光臺

-生命科學、研發(fā)

l 工業(yè)應用

-精密加工

二、為什么要選擇主動系統(tǒng)？

l 從<1Hz開始強烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到的隔振

l 吞吐量、質量、生產量

l 更加細小特色的成像能力

l 研究前沿

l 比氣動平臺更穩(wěn)定

l 滿足SEM標準地點安裝參數的解決方案

l 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低

三、為何選擇主動系統(tǒng), 為何選擇STACIS?

l 正中研究者、科學家、設計者、的心聲棗?#25105;需要盡可能的無震環(huán)境！?/SPAN>

l 市場上強勁的低頻隔振系統(tǒng)。

l 目前，的SEM廠商都公布了安裝參數要求，其需要的震動參數需要主動隔振系統(tǒng)

l STACIS次發(fā)明于 mid 1990s, 經TMC進一步發(fā)展，開發(fā)了數以千計的安裝系統(tǒng)，這是隔振控制領域的提供的技術. 

四、STACIS特色與優(yōu)勢

l 寬的主動隔振帶寬，的低頻隔振效果

l 亞赫茲的主動震動消除，主要在0.6-6Hz頻段內的隔振

l 的可堆疊式設計

l 主動硬式安裝結構，而非軟式懸浮，無低頻漂移：主動元件與剛性彈簧相連

l 被動彈簧濾除了來自Stacis傳感器的負載諧振，需要的調諧少，甚至無需調諧

l 由于阻不匹配，可兼容儀器內部隔離器

l 大負載，可達 2000kg

l 市場是的隔振系統(tǒng)

五、STACIS相比氣動隔離器剛性大400倍 ?/FONT>

穩(wěn)定時間作為對擾動的響應，由于的串聯(lián)式設計，而大大縮短，理想應用于機械制造、動態(tài)負載、激光或者光源需要安裝的剛性臺面的情況下。

六、如下優(yōu)勢在業(yè)內都是的

l  STACIS的主動隔振帶寬為 0.6Hz - 150Hz

l  6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB 

l  從2-3Hz時，隔振可達90% (20dB) 

七、的環(huán)境調查

安裝前后的環(huán)境調查，包括震動、磁場、聲波

安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系

l 完善的環(huán)境調查服務

l 開具環(huán)境

l 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案

l 性覆蓋。有求應，博學多才

l TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案 

l 40多年的行業(yè)經驗，業(yè)內的