一.SJ6000激光干涉儀概述

 激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計(jì)量測試方法，是公認(rèn)的高、高靈敏度的檢測手段，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。

二.SJ6000激光干涉儀功能

1.幾何檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等；
2.位置的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位、重復(fù)定位、微量位移等；

3.動(dòng)態(tài)性能檢測 利用動(dòng)態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析，滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性(低速爬行)分析。

三.SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)