Granville-Phillips 835VQM（真空質(zhì)量監(jiān)控儀）分壓泵系統(tǒng)
Granville-Phillips的分壓泵系統(tǒng)是獲獎的真空質(zhì)量監(jiān)控儀（VQMTM）的真空壓力范圍擴展產(chǎn)品。其具有VQM的優(yōu)勢特點，包括響應速度快和使用便捷，可用于工藝監(jiān)測和工藝控制。
835分壓泵系統(tǒng)（DPS）提供了許多實時信息，可用來優(yōu)化PVD、離子注入、鍍膜以及其他真空制程，從而產(chǎn)能、效果并節(jié)約資金。
835VQM DPS典型應用包括：
監(jiān)控反應氣體
確定工藝初始狀態(tài)
檢測污染物
控制反應氣體注入量
檢測泄漏
835VQM DPS產(chǎn)品特點：
工作壓力從3Torr到5x10-9Torr
在85毫秒內(nèi)完成質(zhì)量數(shù)從1到145的氣體分壓力測量；并可提供1到300質(zhì)量數(shù)范圍的測量
可提供所識別的個比例的氣體成分的即時信息包括趨勢圖
的氫氣和氦氣檢測（無低質(zhì)量數(shù)成分測量分壓全壓現(xiàn)象）
85毫秒內(nèi)完成1到145質(zhì)量數(shù)樣本數(shù)據(jù)的記錄；120毫秒內(nèi)完成1到300質(zhì)量數(shù)樣本記錄
可利用真空系統(tǒng)內(nèi)已有氣體進行單一氣體校準
緊湊型結構設計，可靈活安裝
835VQM DPS標準系統(tǒng)配置
整個835 DPS系統(tǒng)以下組件
835VQM分壓計
390802Micro-lon全壓計
帶孔板的節(jié)流閥
分子泵
粗抽泵帶喉管
內(nèi)部連接電纜線
VQM控制器
VQM瀏覽軟件
