chuck尺寸800mm/600mm

　X,Y電動移動行程200mm/150mm

    chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

    可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡

　針座擺放個數(shù)6～8顆

　顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"

　可搭配Probe card測試

   適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品

 手動探針臺主要用途： 應(yīng)用于生產(chǎn)過程中對集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的參數(shù)等

一、機(jī)器的組成

    本機(jī)器由三大部分組成如圖1所示：

圖1機(jī)器組成

1、探針臺主體，2、探針和打點器，3、顯微鏡及環(huán)形燈。

二、功能介紹

    本手動探針臺結(jié)構(gòu)特點是以右方臺面手柄的移動控制被測試芯片的移動，以左方旋鈕的旋轉(zhuǎn)控制芯片的高度和旋轉(zhuǎn)。

1、技術(shù)性能指標(biāo)：

測試芯片尺寸：4英寸。

片臺X軸、Y軸行程各是110mmm。

片臺Z軸高度行程6mm。

配置 4～100倍體式顯微鏡，具有環(huán)行燈照明裝置。

配備6個探針架。

具有手動打點功能，配備1個打點器。

2、各部件動能介紹 

※探針臺主體結(jié)構(gòu)如圖2所示，

圖2：探針臺主體結(jié)構(gòu)

1底座、2承片臺、3片臺移動手柄、4探針和打點器安裝盤、5顯微鏡支架、6片臺高度手柄、7片臺轉(zhuǎn)動手輪、8、真空接口

各部功能介紹：

底座—是機(jī)器的基礎(chǔ)，承片臺、移動機(jī)構(gòu)等都裝在其上。

承片臺—用來放置被測試的芯片。

片臺移動手柄—在底座上移動此手柄就可以使承片臺沿X軸、Y軸移動，移動范圍在110mm內(nèi)。

探針架和打點器安裝盤—用來安裝探針架和打點器的固定盤狀物。

顯微鏡支架—用來安裝顯微鏡的固定架，它上面有兩個鎖緊手柄和一個調(diào)節(jié)螺釘，用來調(diào)節(jié)顯微鏡的位置。

片臺高度手柄—旋轉(zhuǎn)此手柄，承片臺即上下移動，范圍是6mm。

片臺轉(zhuǎn)動手輪—轉(zhuǎn)動手輪，片臺可轉(zhuǎn)動一個角度。范圍是±30°。

電器接口—供打點器、環(huán)形燈工作的電器插座。具體如圖3所示。

圖3：電器插座

1、220V電源輸入 2、環(huán)形燈接口  3、打點器接口 4、24V輸入

※探針架結(jié)構(gòu)如如圖4所示，它具有三維調(diào)節(jié)功能。打點器架的結(jié)構(gòu)相同。

圖4：探針架結(jié)構(gòu)

1、固定鎖鈕  2、前后調(diào)節(jié)鈕 3、左右調(diào)節(jié)鈕 4、上下調(diào)節(jié)鈕5、探針

※探針架結(jié)構(gòu)如如圖4所示，它具有三維調(diào)節(jié)功能。打點器架的結(jié)構(gòu)相同。

圖5、打點器結(jié)構(gòu)

1、墨盒2、打點線3、頂緊螺釘4、限位螺母5、定位螺母

※顯微鏡及環(huán)形燈

    本機(jī)配備體式顯微鏡，顯微鏡的變倍倍率是4～100倍，物距100mm。詳細(xì)參見顯微鏡的說明。

    本機(jī)配備環(huán)形照明燈，220V 8W。

三、使用方法

1、測試準(zhǔn)備

（1）根據(jù)待測芯片單元圖形情況選擇需要的探針架個數(shù)，將探針架安裝在固定盤上。

（2）將要測試的半導(dǎo)體芯片放在承片臺上?？梢赞D(zhuǎn)動左手下部旋鈕使圖形對在垂直位置。

（3) 在顯微鏡下校對探針的位置，使之對準(zhǔn)在芯片單元相應(yīng)的焊點上，針尖的高度一致。同時檢查測試連線使之接好。

（4）打點器安裝在固定盤上，并對位在同一個芯片單元圖形內(nèi)，插頭接在機(jī)器相應(yīng)的插座上。

（5）將環(huán)形燈接頭插在相應(yīng)的插口上（也可直接插在220V電源上）。

（6）將電源線插到220V電源上。 

2、測試過程

（1）右手移動工作臺上的受柄，在顯微鏡下觀察探針對位到要測試的芯片單元圖形的相應(yīng)焊點上。

（2）對好位置后，左手順時針旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部的旋鈕使承片臺向上移動，針和芯片的焊點接觸，觀看測試儀輸出信號，判斷芯片是否合格。（3）有不合格的芯片單元時，右手按動手柄上部的按鈕，打點器打點在該芯片單元上，合格的不用打點。然后，逆時旋轉(zhuǎn)左側(cè)上部旋鈕承片臺下移。進(jìn)入下一個芯片單元的測試 。如果芯片圖形位置不垂直，轉(zhuǎn)動左手下部手輪調(diào)直，如此往復(fù)，完成整個芯片單元的測試。

    本機(jī)也可測試單個或多個芯片。

3、測試完成

（1）將測試后的芯片從承片臺上取下。

（2）安裝下一個要測試的芯片，如芯片單元圖形與上測試的相同，不用動針的位置。繼續(xù)測試。如不同要重新校對探針位置后再開始測試。

（3）整個測試完成后，把電源線從220V插座上拔掉，保證安全。

四、注意事項 

1、顯微鏡光學(xué)鏡頭注意保養(yǎng)，防潮、防震、防塵。

2、承片臺表面不要劃壓。

3、上移承片臺時注意不要讓探針碰到承片臺上，防止探針尖部損壞。

4、打點器墨盒要經(jīng)常清理，防止堵塞，特別是長時間不用時要清洗掉殘留墨汁。

附件：設(shè)備清單

1、探針臺主機(jī)------------1套

2、探針架加探針----------6套

3、打點器----------------1套

4、體式顯微鏡------------1套

5、環(huán)形燈----------------1個

6、220V-24V開關(guān)電源-----1個