壓電平臺 納米定位 壓電納米定位 制造商-研生

二維納米級精密 壓電平移臺 壓電平臺 壓電陶瓷平臺 壓電納米定位臺 ║P15系列

行程：XY2000μm

P15系列是采用壓電陶瓷驅(qū)動的二維納米級精密壓電納米定位臺，壓電陶瓷平臺內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構(gòu)，壓電平臺采用有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，復合式的柔性導向系統(tǒng)具有的導向、消除側(cè)向運動分量，同時具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。行程2000μm，壓電平移臺內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，了壓電平臺具有的運動控制，定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級，定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。壓電陶瓷平臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。

產(chǎn)品特點：

◆ 采用無摩擦高柔性鉸鏈導向系統(tǒng)，消除側(cè)向運動分量；

◆ 內(nèi)置的壓電陶瓷，高性；

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇。

產(chǎn)品應用：

顯微光學　　半導體測試　　干涉測量　　納米定位　　生物技術(shù)　　微加工　　微操作

       遼寧研生科技有限公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、壓電納米定位臺/掃描臺、壓電平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、壓電光束偏轉(zhuǎn)鏡、壓電顯微掃描平臺、壓電物鏡聚焦/掃描器、壓電紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高微位移測量系統(tǒng)等幾十個系列產(chǎn)品。

       研生科技的納米級精密定位產(chǎn)品類型豐富，運動自由度從一維至六維[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，運動行程從幾微米至幾千微米，承載能力從幾百克至幾百千克，推/拉力從幾牛頓至幾千牛頓，具有多種結(jié)構(gòu)類型如疊堆式結(jié)構(gòu)、嵌套式結(jié)構(gòu)以及性能更優(yōu)異的并聯(lián)式結(jié)構(gòu)等，定位、分辨率和穩(wěn)定性可以納米量級，定位穩(wěn)定時間為毫秒量級，主要技術(shù)指標已國際水平，可地替代產(chǎn)品。

       研生科技的產(chǎn)品和技術(shù)主要應用于前沿領域科學研究、半導體制造與檢測、生物顯微成像、精密光學系統(tǒng)、光電子對準與封裝、光學跟蹤與掃描、精密加工、自動化等領域。廣泛服務于各高校、科研院所以及各類制造光學顯微檢測設備、激光加工設備、半導體IC設備、測量/檢測儀器、光電設備、光學儀器、設備、特種精密加工等的裝備制造商。