愛德華  EDWARDS  真空泵  EH250 羅茨真空泵

技術數據

容積（工作容積）

50Hz 310 m3h-1/185 ft3min-1

60Hz 375 m3h-1/220 ft3min-1

使用后備泵時的抽取速度

E1M40 或 E2M40 240 m3h-1/141 ft3min-1

E1M80 或 E2M80 274 m3h-1/161 ft3min-1

泵的壓差

50Hz 0-180 mbar/0-140 Torr

60Hz 0-150 mbar/0-115 Torr

入口連接 ISO63

出口連接 ISO40

轉速 ?

50Hz 0-2900 rpm

60Hz 0-3500 rpm

連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr

出口壓力 1000 mbar/760 Torr

推薦的后備泵 GV80，E1M/E2M40，E1M/E2M80

電源電壓，3 相

50Hz 220 – 240V/380 – 415V

60Hz 230V/460V

馬達功率

碳氫化合物 2.2kW/3hp

PFPE 2.2kW/3hp

ATEX 2.2kW

爆型 3 相

環(huán)境溫度范圍

操作 5 至 40°C/40 至 104°F

存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F

操作濕度 90% RH

推薦用油

標準型 Ultragrade 20

PFPE 版本 Fomblin YVAC 16/6

油容量

聯結器箱 1.5 升/1.6 qt

軸桿封口儲油器 0.125 升

重量* 69 kg/152 lb

應用

分析儀器

速離心機

覆層

脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

氣瓶充氣/排空

凝膠體干燥

手套式操作箱，干燥爐

實驗室工作臺上真空

氦檢漏儀

負載鎖和傳輸腔

冷凍制造

研發(fā)

旋轉離心蒸發(fā)器

電子掃描顯微鏡 - SEM

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學儀器

渦輪分子前級泵

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現出更高的性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且腐蝕。

的軸封技術，處理艙中不會出現油污染

腐型泵送機械裝置采用鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到。

軸封的設計經過優(yōu)化，可潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可在公差嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是技術設備的制造商所需要的。