EDWARDS 愛德華 EH500 EH系列真空泵EH500

概述：

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵須由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度。

應用

半導體制程

真空蒸餾

真裝

鋼脫氣

薄膜覆層

真空冶金

低密度風洞

空間模擬

真空浸漬

油干燥和脫氣

制藥冷凍干燥

CO2 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。

EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且腐蝕。

的軸封技術，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

腐型泵送機械裝置采用鑄鐵制造。

經驗證的軸封布置可沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到。

軸封的設計經過優(yōu)化，可潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可在公差嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是技術設備的制造商所需要的。

容積（工作容積）

50Hz 505 m3h-1/300 ft3min-1

60Hz 605 m3h-1/335 ft3min-1

使用后備泵時的抽取速度

E1M40 或 E2M40 350 m3h-1/206 ft3min-1

E1M80 或 E2M80 400 m3h-1/236 ft3min-1

E1M175 或 E2M175 440 m3h-1/259 ft3min-1

E1M275 或 E2M275 460 m3h-1/271 ft3min-1

泵的壓差 ?

50Hz 0-110 mbar/0-83 Torr

60Hz 0-90 mbar/0-68 Torr

入口連接 ISO100

出口連接 ISO63

轉速

50Hz 0-2900 rpm

60Hz 0-3500 rpm

連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr

出口壓力 1000 mbar/760 Torr

推薦的后備泵 GV80，E2M80

電源供給

50Hz 220-240V/380-415V

60Hz 230V/460V

馬達功率

碳氫化合物 2.2kW/3hp

PFPE 2.2kW/3hp

ATEX 2.2kW

爆型 3hp

環(huán)境溫度范圍

操作 5 至 40°C/40 至 104°F

存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F

操作濕度 90% RH

推薦用油

標準型 Ultragrade 20

PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6

油容量

聯(lián)結器箱 1.5 升

軸桿封口儲油器 0.125 升

重量* 106 kg/233 lb