EDWARDS　愛德華EH系列羅茨真空泵

EH/Q系列

EH250、EH500、EH1200、EH2600、EH4200、Q250、Q500、Q1200、Q2600、Q4200

概述：

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 ar、需要高抽速的應用場合。此泵須由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度。

爆型機械增壓泵可能配備爆型電機，或作為爆型系統(tǒng)的一部分供貨。

應用

半導體制程

真空蒸餾

真裝

鋼脫氣

薄膜覆層

真空冶金

低密度風洞

空間模擬

真空浸漬

油干燥和脫氣

制藥冷凍干燥

CO2 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 ar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。

EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無振動運行。

牢靠且腐蝕。

的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

腐型泵送機械裝置采用鑄鐵制造。

經(jīng)驗證的軸封布置可沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到。

軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化，可潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可在公差嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是技術(shù)設備的制造商所需要的。

容積（工作容積）

50Hz 1195 m3h-1/715 ft3min-1

60Hz 1435 m3h-1/845 ft3min-1

使用后備泵時的抽取速度

E2M80 840 m3h-1/495 ft3min-1

E2M175 930 m3h-1/548 ft3min-1

E2M275 1020 m3h-1/601 ft3min-1

泵的壓差 ?

50Hz 0-90 ar/0-68 Torr

60Hz 0-75 ar/0-56 Torr

入口連接 ISO160

出口連接 ISO100

轉(zhuǎn)速

50Hz 0-2900 rpm

60Hz 0-3500 rpm

連續(xù)入口操作壓力 0-1000 ar/0-760 Torr

出口壓力 1000 ar/760 Torr

推薦的后備泵 GXS160，GXS250，E2M80，E2M175

電源供給

50Hz 220-240V/380-415V

60Hz 230V/460V

馬達功率

碳氫化合物 3kW/4hp

PFPE 3kW/4hp

ATEX 3kW

爆型 4hp

環(huán)境溫度范圍

操作 5 至 40°C/40 至 104°F

存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F

操作濕度 90% RH

推薦的冷卻水流量（入口溫度 20°C） 120 l h-1/0.53 gal min-1

推薦的冷卻水供應壓力* 2-6 bar

冷卻水接頭 3/8 英寸 BSP 陽螺紋

推薦用油

標準型 Ultragrade 20

PFPE 版本 Folin? YVAC 16/6

油容量

齒輪箱 1.25 升

聯(lián)結(jié)器箱 2.4 升

軸桿封口儲油器 0.125 升

重量 149 kg