概述：

 EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵須由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程

真空蒸餾

真裝

鋼脫氣

薄膜覆層

真空冶金

低密度風(fēng)洞

空間模擬

真空浸漬

油干燥和脫氣

制藥冷凍干燥

CO2 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的性。

EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

安靜的無振動運(yùn)行。

牢靠且腐蝕。

的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染

腐型泵送機(jī)械裝置采用鑄鐵制造。

經(jīng)驗證的軸封布置可沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到。

軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可在公差嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點正是技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

技術(shù)數(shù)據(jù)：

容積（工作容積）  

50Hz 2590 m3h-1/1525 ft3min-1

60Hz 3110 m3h-1/1830 ft3min-1

使用后備泵時的抽取速度  

E2M175 1750 m3h-1/1031 ft3min-1

E2M275 1900 m3h-1/1119 ft3min-1

泵的壓差 ?  

50Hz 0-120 mbar/0-90 Torr

60Hz 0-67 mbar/0-50 Torr

入口連接 ISO160

出口連接 ISO100

轉(zhuǎn)速  

50Hz 0-2900 rpm

60Hz 0-3500 rpm

連續(xù)入口操作壓力 0-1000 mbar/0-760 Torr

出口壓力 1000 mbar/760 Torr

推薦的后備泵 GXS250，GXS400，E2M175，E2M275

電源供給  

50Hz 220-240V/380-415V

60Hz 230V/460V

馬達(dá)功率  

碳?xì)浠衔?span id="1yk2ulx" class="Apple-tab-span" style="white-space:pre"> 11kW/15hp

PFPE 11kW/15hp

ATEX 11kW

爆型 15hp

環(huán)境溫度范圍  

操作 5 至 40°C/40 至 104°F

存儲 -10 至 80°C/14 至 176°F

操作濕度 90% RH

推薦的冷卻水流量（入口溫度 20°C）* 250lh-1/1.1 gal min-1

推薦的冷卻水供應(yīng)壓力* 2-6 bar

冷卻水接頭* 3/8 英寸 BSP 陽螺紋

推薦用油  

標(biāo)準(zhǔn)型 Ultragrade 20

PFPE 版本 Fomblin? YVAC 16/6

油容量  

齒輪箱 3.5 升

聯(lián)結(jié)器箱 6.5 升

軸桿封口儲油器 1.5 升

重量** 401 kg/882 lb