Zeta3DTM測量系統(tǒng)
ZETA-300
基于ZDotTM點陣技術(shù)的3D光學(xué)輪廓儀
Zeta的ZDotTM點陣技術(shù)是測量各種復(fù)雜表面形貌的理想選擇，包括透明的多層結(jié)構(gòu)、低反射率、低對比度、高粗糙度或高度落差很大的表面結(jié)構(gòu)，除此之外，ZDot在測量高縱橫比的孔和溝時更是有著的效果。ZDotTM點陣技術(shù)提供了可能的光路設(shè)計，其Z向的光學(xué)測量是白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡所不能的。強大卓越的測量能力加之內(nèi)置集成的震設(shè)施以及精簡美觀的機械結(jié)構(gòu)使得Zeta-300成為了研究及生產(chǎn)相關(guān)應(yīng)用領(lǐng)域的解決方案。
多功能光學(xué)測量模組
Zeta-300測試系統(tǒng)提供多種光學(xué)測試技術(shù)，滿足用戶各種應(yīng)用領(lǐng)域的測試需求：
ZDotTM Z點陣三維成像技術(shù)，是Zeta系列產(chǎn)品的標配技術(shù)，該技術(shù)結(jié)合背光和暗場照明以及各種規(guī)格的光學(xué)物鏡，使Zeta3D光學(xué)輪廓儀可以分析測量為“困難”的表面結(jié)構(gòu)。
ZIC 干涉反襯成像技術(shù)，可對納米級粗糙度表面成像及測量。
ZSI 白光差分干涉技術(shù)，搭配任意物鏡可實現(xiàn)Z向埃級分辨率的測量能力。
ZX5 ，ZX100白光干涉技術(shù)，Z方向納米級分辨率的同時，提供大視野范圍內(nèi)的測量和統(tǒng)計分析。
ZFT 膜厚測試技術(shù)，集成光譜儀，通過擬合反射光譜測量薄膜厚度
應(yīng)用領(lǐng)域
Zeta-300 測試系統(tǒng)支持多功能測試選項，根據(jù)客戶實際需求可配備不同的光學(xué)模組、載臺、樣品臺、照明系統(tǒng)及分析軟件。高和高重復(fù)性的設(shè)備性能是科研和工業(yè)生產(chǎn)理想的選擇。如下為實際應(yīng)用舉例：
LED, PSS & 缺陷監(jiān)控
PSS 的尺寸、高度和周期
PR和AlN的厚度
AOI缺陷測試及分類
2寸、 4寸和6寸兼容吸真空載臺
微流體和MEMS器件結(jié)構(gòu)分析
透明或半透明的多層結(jié)構(gòu)分析
高縱橫比結(jié)構(gòu)分析，如深溝壑結(jié)構(gòu)等
可編程測試菜單及自動化掃描
靈活的硬件功能選項
暗場或背光照明系統(tǒng)
金剛石劃線標記系統(tǒng)
6物鏡自動切換裝置
金剛線測量裝置
晶圓或光盤倒角測量裝置
長工作距離物鏡，折射率校正或浸沒式物鏡
……更多選項
技術(shù)規(guī)格
產(chǎn)品尺寸(mm)
系統(tǒng) (長X寬X高)：813 x 940 x 1550 電壓: 100 - 230 VAC
顯示器：559 x 127 x 407 電流: 4A
總重量：360lbs/164 kg 工作溫度: 18-30oC，非冷凝， ±1oC 每小時
光學(xué)參數(shù) | |||||
5x | 10x | 20x | 50x | 100x | |
N.A. | 0.15 | 0.3 | 0.45 | 0.80 | 0.90 |
FOV(μm)1 | 1894x1420 | 944x708 | 468x351 | 189x142 | 93x70 |
FOV(μm)2 | 4697x3522 | 2327x1745 | 1169x877 | 466x349 | 234x175 |
性能配置
3D 成像: ~ 1 秒/點 (ZIC)
~ 10 秒/點 (ZSI)
~ 30 秒/點 (ZDot)
像素分辨率: 0.09 μm (0.5x耦合鏡 + 100x物鏡)
小Z軸步距: 2 nm (壓電陶瓷傳動)
13 nm (精密絲杠傳動)
Z軸分辨率： 0.1? (ZSI)
13 nm (ZDot)
重復(fù)性3： ±15 nm (1σ)3 （或±1%）
系統(tǒng)配置
相機選項： 640x480, 1024x768, 1280x960
1920x1440
總放大率： 35,000x (光學(xué)和數(shù)字放大)
系統(tǒng)光源： 2個大功率白光LED
自動載臺： 200mm x 200mm (XY 方向)
Z軸測試范圍： 40mm標配（100mm可選）
