一、產(chǎn)品概述
采用MEMS（Micro Electro-Mechanical System）技術(shù)和集成電路工藝，在單晶硅片的特定晶向上制成應變電阻構(gòu)成的惠斯通檢測電橋，并利用硅的彈性力學特性，制作出集應力敏感與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的硅壓阻力敏元件。本系列產(chǎn)品以硅壓阻力敏元件為元件，并采用了無應力封裝及精密溫度補償技術(shù)，使得傳感器具有很高的穩(wěn)定性和性，具有優(yōu)良的線性特性、優(yōu)的重復性及遲滯性能，是當代應用廣泛的壓力傳感器。傳感器采用恒流源或恒壓源供電，當芯體接受被測壓力信號，擴散硅芯片就會發(fā)生形變?？涛g在擴散硅芯片上的惠斯通電橋也隨之發(fā)生變化，導致惠斯通電橋失去平衡，從而產(chǎn)生一個線性關(guān)系的電壓輸出信號。
二、工作原理
以硅壓阻力敏元件為元件，并采用了無應力封裝及精密溫度補償技術(shù)，使得傳感器具有很高的穩(wěn)定性和性，具有優(yōu)良的線性特性、優(yōu)的重復性及遲滯性能，是當代應用廣泛的壓力傳感器
三、產(chǎn)品特點
*靈敏度及準確度高、性穩(wěn)定
*頻響高，溫度性能好
*電擊穿性能與耐腐蝕性好
