日立TM4000掃描電鏡的低真空系統(tǒng)使得樣品不需任何處理即可快速進(jìn)行觀察。TM4000優(yōu)化提供5kV、10kV、15kV三種不同電壓下的觀察模式，每種模式下電流4檔可調(diào)，并配備4分割背散射探測器，可采集四個(gè)不同方向的圖像信息，對(duì)樣品進(jìn)行多種模式成像。具有的SEM-MAP導(dǎo)航功能，同時(shí)，電鏡圖片可以形式導(dǎo)出。配備大型樣品倉，可容納樣品直徑80mm，厚度50mm。

TM4000Plus是在TM4000基礎(chǔ)上增加高靈敏度低真空二次電子探頭UVD，該探頭在低真空環(huán)境下具有很好的成像質(zhì)量。TM4000Plus可將二次電子圖像和背散射電子圖像疊加并實(shí)時(shí)進(jìn)行顯示，獲得多的樣品信息。可選配附件豐富，擁有諸多附加功能。