JKZC-OL-Z物鏡壓電納米平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
1、典型應(yīng)用
超分辨率顯微微調(diào)
振動臺
顯微成像/操縱
壓電微位移
3D成像
干涉測量
生物技術(shù)
半導(dǎo)體測試
2、技術(shù)特點：
亞納米級分辨率
超高定位精度
無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向
超高真空兼容性
高速、高動態(tài)
多運動模式：定位/掃描
3、規(guī)格參數(shù)
JKZC-OL-Z-100 | JKZC-OL-Z-200 | 單位 | |
運動觸數(shù) | 1 | ||
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | ||
閉環(huán)行程 | 100 | 200 | μm |
閉環(huán)分辨率 | 1 | nm | |
最小步長 | 2 | nm | |
無負(fù)載諧振頻率 | 560 | 750 | Hz |
大負(fù)載 | 200 | g | |
傳感器類型 | 電容傳感器 | ||
尺寸(LxWxH) | 69.7x46x41 | 71.5x55x41 | mm |
白重 | 90 | 258 | g |
電氣接口 | D-sub9/可定制 | ||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | |
屏蔽線纜長度 | 2 | m | |
材料 | 鋁合金 | ||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
真空版型號:NP-OL-Z-HV
適配控制器
