- 品牌/商標(biāo)：貝丁漢
- 企業(yè)類型：制造商
- 新舊程度：全新
- 原產(chǎn)地：上海
貝丁漢ZLM系列雙頻激光干涉儀主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量，ZLM800為多軸測(cè)量系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。它能夠完全計(jì)算出機(jī)械設(shè)備的運(yùn)行軌跡，并通過WINDOWS?軟件按用戶設(shè)定的方法對(duì)其進(jìn)行分析。
性能要點(diǎn)：
1、被測(cè)物體速度16m/s；
2、無干擾誤差時(shí)的分辨率2.5nm（使用平面干涉鏡時(shí)的誤差為1.25nm）； 3、無加速度限制；
4、當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定；
5、信號(hào)延時(shí)<200ns；
6、激光器壽命內(nèi)，頻率信號(hào)穩(wěn)定；
7、對(duì)電磁干擾不敏感；
8、使用超級(jí)蔡司光學(xué)元件。
優(yōu)勢(shì)性能：
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測(cè)量
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校準(zhǔn)、定位、調(diào)整
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控制
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使用標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)處理器AE700 |
使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 |
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He-Ne激光平均波長(zhǎng)： |
632.8 nm |
632.8 nm |
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激光穩(wěn)頻： |
一小時(shí)2x10-9（±0.002ppm） 壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm） |
一小時(shí)2x10-9（±0.002ppm） 壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm） |
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系統(tǒng)（0-40℃時(shí)）： |
±0.4ppm |
±0.4ppm |
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光束直徑： |
6mm (可選3.2mm) |
6mm (可選3.2mm) |
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激光管突發(fā)輸出功率： |
1mW (激光等級(jí)2) |
1mW (激光等級(jí)2) |
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每束光可測(cè)量的軸數(shù)： |
1，可選多6個(gè) |
1，可選多6個(gè) |
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線性測(cè)量距離： |
40m，可擴(kuò)展為120m |
40m，可擴(kuò)展為120m |
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角度測(cè)量范圍： |
± 15°，20m行程 |
± 15°，20m行程 |
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平面度測(cè)量范圍： |
20m行程 |
20m行程 |
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直線度測(cè)量范圍： |
± 5mm，2m或10m行程， 選用角度干涉儀可測(cè)30m行程 |
± 5mm，2m或10m行程， 選用角度干涉儀可測(cè)30m行程 |
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垂直度測(cè)量范圍： |
± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀 |
± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀 |
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速度： |
4m/s，可選16m/s 320rad/s 角速度 |
1m/s，平移量 80rad/s，角速度 |
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加速： |
無限制 |
無限制 |
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采樣頻率： |
內(nèi)部1MHz，外部40MHz |
內(nèi)部1MHz，外部40MHz |
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預(yù)熱時(shí)間： |
12分鐘 |
12分鐘 |
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/非線性： |
±1.25nm (角隅反射鏡) ±0.62nm (平面反射鏡) |
±0.3nm (角隅反射鏡) ±0.1nm (平面反射鏡) |
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距離測(cè)量分辨率： |
2.5nm (角隅反射鏡) 1.25nm (平面反射鏡) |
0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選 |
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距離測(cè)量： (20°± 0.5°) 使用AUK時(shí) (20°± 0.5°) 真空中時(shí) |
±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) |
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線性度測(cè)量分辨率： |
2.5nm (角隅反射鏡) 1.25nm (平面反射鏡) 0.62nm可選 |
0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選 |
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線性度測(cè)量： (20°± 0.5°) 使用AUK時(shí) (20°± 0.5°) 真空中時(shí) |
±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m |
±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m |
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速度測(cè)量： |
±0.5ppm實(shí)測(cè)值 |
±0.5ppm實(shí)測(cè)值 |
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角度測(cè)量分辨率： |
0.062μrad (12x10-3 角秒) |
0.015μrad (3x10-3 角秒) |
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角度測(cè)量： |
±0.1ppm實(shí)測(cè)值 |
±0.1ppm實(shí)測(cè)值 |
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平面度測(cè)量分辨率： |
0.062μrad (12x10-3 角秒) |
0.015μrad (3x10-3 角秒) |
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平面度測(cè)量： |
±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05弧度/米行程 |
±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05 弧度/米行程 |
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直線度測(cè)量分辨率： |
145nm，10m行程 29nm，2m行程 |
36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
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直線度測(cè)量： |
±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程 |
±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程 |
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垂直度測(cè)量分辨率： |
145nm，10m行程 29nm，2m行程 |
36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 |
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垂直度測(cè)量： |
±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5角秒* ±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5角秒* |
±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5角秒* ±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5角秒* |
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數(shù)據(jù)接口： |
積分信號(hào) |
積分信號(hào) |
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數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)： |
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA |
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工作環(huán)境： |
溫度：15°C-30°C 濕度： <90%無冷凝 |
溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝 |
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儲(chǔ)存環(huán)境： |
溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝 |
溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝 |
