三信亞太科技（深圳）有限公司
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OREL 3D CT 固定射線檢測系統(tǒng)可用于微電子產(chǎn)品，特別是對無線電電子產(chǎn)品的缺陷檢測。
OREL 作為一個缺陷檢測系統(tǒng)可用于檢驗多層 PCB 產(chǎn)品，亦可用作 BGA 和 μBGA 裝置。
3D-CT 系統(tǒng)是 OREL 的升級版。
技術(shù)參數(shù)：
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幾何放大率 |
2000 倍 |
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樣品尺寸 |
500 x |
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像素 |
10 micron |
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高壓范圍 |
20 – 150kV |
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陽極電流范圍 |
60 – 120 mkA |
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控制模式 |
自動 / 手動 |
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顯像屏尺寸 |
300 x |
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對焦系統(tǒng) |
全自動電磁 |
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系統(tǒng)尺寸 |
1331 x 1306 x |
|
系統(tǒng)重量 |
|
